Керамічні обігрівачі

У процесі фронту (FEOL) напівпровідникового виробництва,вафляПотрібно піддаватися різним процесам процесу, особливо пластину потрібно нагрівати до певної температури, і існують суворі вимоги, оскільки рівномірність температури має дуже важливий вплив на вихід продукту; У той же час напівпровідникове обладнання повинно працювати в присутності вакууму, плазми та хімічних газів, що вимагає використання керамічних обігрівачів.Керамічні обігрівачіє важливими компонентами напівпровідникового обладнання з тонкою плівкою. Вони використовуються в технологічній камері і безпосередньо контактують з пластиною для перенесення та дозволу пластину для отримання стабільної та рівномірної температури процесу та для реагування з високою точністю на поверхні вафлі для генерації тонких плівок.

Оскільки обладнання для осадження тонкої плівки, що використовується керамічними обігрівачами, передбачає високі температури, зазвичай використовуються керамічні матеріали, головним чином, засновані на алюмінієвому нітриду (ALN). Тому що нітрид алюмінію має електричну ізоляцію та відмінну теплопровідність; Крім того, його коефіцієнт теплового розширення близький до кремнію, і він має відмінну опір у плазмі, він дуже підходить для використання як компонент напівпровідникового обладнання.

Електростатичні залози (ESC) в основному використовуються в обладнанні травлення, в основному оксиду алюмінію (AL2O3). Оскільки сам електростатичний патрон також містить обігрівач, приймаючи сухе травлення як приклад, необхідно контролювати вафлі при певній температурі в діапазоні -70 ℃ ~ 100 ℃, щоб підтримувати певну характеристику травлення. Тому пластину потрібно нагрівати або розсіювати електростатичним патронним патроном, щоб точно контролювати температуру вафель. Крім того, для того, щоб забезпечити рівномірність поверхні пластини, електростатичний патрон часто повинен збільшити зону управління температурою для контролю температури кожної зони контролю температури окремо для поліпшення виходу процесу. Звичайно, з розвитком технологій розрізнення традиційних керамічних обігрівачів та електростатичних крон почало розмивати. Деякі керамічні обігрівачі мають подвійні функції високотемпературного нагрівання та електростатичної адсорбції.

Керамічний нагрівач включає керамічну основу, яка несе пластину та циліндричне опорне тіло, яке підтримує її на спині. Всередині або на поверхні керамічної основи, крім елемента опору (нагрівальний шар) для нагрівання, є також радіочастотний електрод (радіочастотний шар). Для того, щоб досягти швидкого нагрівання та охолодження, товщина керамічної основи повинна бути тонкою, але занадто тонкою також знизить жорсткість. Опорний тіло нагрівача, як правило, виготовляється з матеріалу з коефіцієнтом теплового розширення, подібним до основи, тому опора опору часто також виготовляється з алюмінієвого нітриду. Нагрівач приймає унікальну структуру валу (вала) суглоба внизу, яка може захистити клеми та проводи від впливу плазми та корозійних хімічних газів. У опорному корпусі надається вхід на вхід в теплопровідність та випускна труба для забезпечення рівномірної температури нагрівача. Основа та опорний організм хімічно пов'язані з шаром зв’язку.

Semicorex пропонує якіснукерамічні обігрівачі. Якщо у вас є якісь запити або потрібні додаткові деталі, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Зверніться до телефону # +86-13567891907

Електронна пошта: sales@semicorex.com