Графітове покриття TaC створюється шляхом покриття поверхні високочистої графітової підкладки тонким шаром карбіду танталу за допомогою запатентованого процесу хімічного осадження з парової фази (CVD).
Карбід танталу (TaC) - це сполука, яка складається з танталу та вуглецю. Він має металеву електропровідність і надзвичайно високу температуру плавлення, що робить його вогнетривким керамічним матеріалом, відомим своєю міцністю, твердістю, термостійкістю та зносостійкістю. Точка плавлення карбідів танталу досягає максимуму приблизно при 3880°C залежно від чистоти і має одну з найвищих точок плавлення серед бінарних сполук. Це робить його привабливою альтернативою, коли вимоги до більш високих температур перевищують продуктивність, що використовується в епітаксіальних процесах складних напівпровідників, таких як MOCVD і LPE.
Дані матеріалу Semicorex TaC Coating
|
Проекти |
Параметри |
|
Щільність |
14,3 (г/см³) |
|
Коефіцієнт випромінювання |
0.3 |
|
КТР (×10-6/K) |
6.3 |
|
Твердість (HK) |
2000 |
|
Опір (Ом-см) |
1×10-5 |
|
Термічна стабільність |
<2500 ℃ |
|
Зміна розміру графіту |
-10~-20um (довідкове значення) |
|
Товщина покриття |
Типове значення ≥20um (35um±10um) |
|
|
|
|
Вищенаведені типові значення |
|
Кільця з пористого карбіду танталу Semicorex — це високоефективні вогнетривкі компоненти, спеціально розроблені для процесу фізичного переносу парів (PVT) для вирощування кристалів карбіду кремнію (SiC), які мають монолітну спечену структуру, яка забезпечує виняткову термічну стабільність і контрольовану газопроникність.*
ДетальнішеНадіслати запитГрафітові пластини з покриттям Semicorex TaC – це найсучасніші компоненти, які зазвичай застосовуються для стабільної підтримки та позиціонування напівпровідникових пластин під час сучасних епітаксійних процесів напівпровідників. Використовуючи найсучасніші виробничі технології та зрілий виробничий досвід, Semicorex прагне постачати виготовлені на замовлення графітові пластини з TaC-покриттям із кращою на ринку якістю для наших шановних клієнтів.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex CVD TaC Coated Susceptors — це високоефективні графітові фіксатори з щільним TaC покриттям, розроблені для забезпечення чудової термічної однорідності та стійкості до корозії для вимогливих процесів епітаксійного росту SiC. Semicorex поєднує в собі передову технологію CVD-покриттів із суворим контролем якості, щоб забезпечити довговічні чутливі елементи з низьким рівнем забруднення, яким довіряють світові виробники SiC epi.*
ДетальнішеНадіслати запитНапрямні кільця з покриттям з карбіду танталу Semicorex є високоефективними кільцевими компонентами, які використовуються в обладнанні для вирощування кристалів напівпровідників. Вони спеціально розроблені для створення відповідного градієнта температури та стабільного повітряного потоку під час росту кристалів. Вибираючи направляючі кільця з покриттям з карбіду танталу Semicorex, ви отримаєте переваги від неперевершеної технології покриття та високоефективного та стабільного виробництва.
ДетальнішеНадіслати запитГрафітовий тигель Semicorex TaC Coated Crucible виготовляється з графіту з покриттям з карбіду танталу за допомогою методу CVD, який є найбільш підходящим матеріалом, що застосовується в процесі виробництва напівпровідників. Semicorex — це компанія, яка постійно спеціалізується на CVD керамічних покриттях і пропонує найкращі рішення щодо матеріалів у напівпровідниковій промисловості.*
ДетальнішеНадіслати запитКомпоненти з покриттям Semicorex TaC для епітаксійного росту — це дорогоцінні оброблені деталі, розташовані в повітрозабірнику під час епітаксійного процесу в напівпровіднику. Semicorex — це першокласна компанія, яка спеціалізується на технології покриття CVD TaC у Китаї та експортує продукцію по всьому світу.*
ДетальнішеНадіслати запит