Продукти

Керамічні плунжери з оксиду алюмінію Semicorex — це прецизійні циліндричні компоненти руху, виготовлені з високоякісної сировини глинозему. Як вдосконалена альтернатива звичайним металевим плунжерам, керамічні плунжери Semicorex з оксиду алюмінію є ідеальним рішенням для роботи в складних робочих середовищах із високим тиском, сильним стиранням та інтенсивною хімічною корозією.

Композитні направляючі циліндри Semicorex C/C є незамінними функціональними компонентами, які спеціально використовуються для вирощування монокристалічного кремнію високої чистоти. Композитні направляючі циліндри Semicorex C/C, виготовлені з високоефективних вуглецевих композитів за допомогою спеціальних технологій, забезпечують стабільну тривалу роботу в складних термальних полях монокристалічного кремнію з високою температурою та агресивною атмосферою.

6-дюймові пластини з кремнію і карбіду Semicorex є ключовими інструментами для перенесення керамічних пластин, які використовуються для утримання, перенесення та обробки пластин. Розроблені для зберігання 6-дюймових пластин, 6-дюймові пластини Semicorex із SiC ідеально сумісні з жорсткими умовами процесу дифузії напівпровідників при високих температурах, забезпечуючи результати роботи з пластинами без забруднення та пошкодження.

Керамічні кінцеві елементи з оксиду алюмінію Semicorex є незамінними механічними структурними компонентами, точно виготовленими з високоякісної глиноземної кераміки. Здатні точно виконувати найважливіші завдання обробки пластин, включаючи підйом, транспортування та вирівнювання пластин, алюмооксидні керамічні кінцеві ефектори Semicorex знаходять широке застосування в високоякісному обладнанні для виготовлення напівпровідників і високоточних системах автоматизації.

Нагрівачі Semicorex SiC Coated Heaters — це графітові нагрівальні компоненти з покриттям CVD SiC, розроблені для теплових полів напівпровідників, що забезпечують ефективне генерування тепла, чудову стійкість до корозії та тривалу надійність у високотемпературному технологічному обладнанні. Semicorex постачає індивідуальні графітові нагрівачі з SiC-покриттям і повні рішення для теплового поля для виробників напівпровідників по всьому світу, що підтримується передовою технологією CVD-покриттів, точним проектуванням і надійною глобальною доставкою.*

Керамічні лопаті Semicorex SiC — це консольні носії для пластин із карбіду кремнію високої чистоти, призначені для надійного транспортування та транспортування пластин у високотемпературних напівпровідникових печах, що забезпечує чудову термічну стабільність, низький рівень забруднення та тривалий термін служби. Semicorex постачає високоефективні компоненти SiC-керамічних печей клієнтам по всьому світу, забезпечуючи індивідуальні конструкції, точне виробництво та надійну глобальну доставку для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості.*