Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті керамічні компоненти SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від витратних матеріалів для обладнання для обробки пластин, таких як вафельний човен з карбіду кремнію, консольні лопаті, труби тощо для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає конструкцію з високочистого карбіду кремнію (SiC), яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини і стійкості епі-шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Консольне весло →
Консольна пластина є важливим компонентом, який використовується в процесах виробництва напівпровідників, зокрема в дифузійних або LPCVD печах під час таких процесів, як дифузія та RTP.
Технологічна трубка →
Process Tube — це важливий компонент, спеціально розроблений для різних програм обробки напівпровідників, таких як RTP, дифузія.
Вафельні кораблики →
Wafer Boat використовується в обробці напівпровідників, він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних пластин під час критичних етапів виробництва.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Semicorex також має керамічні вироби з оксиду алюмінію (Al2O3), нітриду кремнію (Si3N4), нітриду алюмінію (AIN), оксиду цирконію (ZrO2), композитної кераміки тощо.
Спеціально розроблені для застосування при екстремальних температурах, тиглі з нітриду бору гарячого пресування є незамінними керамічними контейнерами, які служать блискучими рішеннями як для процесів плавлення та випаровування металу, так і для процесів вирощування кристалів напівпровідника.
ДетальнішеНадіслати запитВиготовлені з високоякісних матеріалів карбіду кремнію, захисні трубки для термопар SIC є передовими керамічними рішеннями, які використовуються для захисту термопар від нормальної роботи в складних середовищах з високими температурами. Виберіть Semicorex для прецизійних захисних трубок для термопар SIC, які забезпечують постійну якість, економічно вигідну ціну та максимальну ефективність охолодження.
ДетальнішеНадіслати запитВиготовлені з високоефективної карбідокремнієвої кераміки, охолоджувальні канали з карбіду кремнію є ефективними компонентами труб, які використовуються в процесах охолодження високотемпературних промислових печей. Виберіть Semicorex для високоточних охолоджуючих каналів з карбіду кремнію, які забезпечують незмінну якість, економічно вигідну ціну та максимальну ефективність охолодження.
ДетальнішеНадіслати запитВуглецевокерамічні гальма Semicorex виготовлені з передових вуглецевих керамічних композитів, які є передовим матеріалом, який дуже підходить для високотемпературного робочого середовища. Semicorex постачає індивідуальні продукти відповідно до застосування та вимог клієнтів.*
ДетальнішеНадіслати запитПластина для травлення карбіду кремнію ICP — це незамінний тримач для пластин, виготовлений із високочистої спеченої кераміки карбіду кремнію. Спеціально розроблений компанією Semicorex, він служить ключовим фактором для систем травлення та осадження з індуктивно зв’язаною плазмою (ICP) у передовій напівпровідниковій промисловості.
ДетальнішеНадіслати запитТиглі з нітриду алюмінію від Semicorex виготовляються з напівпровідникової кераміки AlN, яка є високоефективними реакційними посудинами, що застосовуються в складних середовищах з високими температурами. Semicorex пропонує індивідуальне виробництво відповідно до вимог замовника, обробляючи як великомасштабні замовлення, так і дрібносерійні потреби прототипів.
ДетальнішеНадіслати запит