Кераміка з карбіду кремнію (SiC) — це передовий керамічний матеріал, що містить кремній і вуглець. Зерна карбіду кремнію можна з’єднати разом шляхом спікання з утворенням дуже твердої кераміки. Semicorex постачає на замовлення кераміку з карбіду кремнію відповідно до ваших потреб.
Додатки
Властивості кераміки з карбіду кремнію залишаються незмінними до температур вище 1400°C. Високий модуль Юнга > 400 ГПа забезпечує чудову стабільність розмірів.
Типовим застосуванням компонентів з карбіду кремнію є технологія динамічного ущільнення з використанням підшипників ковзання та механічних ущільнень, наприклад, у насосах і системах приводу.
Завдяки вдосконаленим властивостям карбідокремнієва кераміка також ідеально підходить для використання в напівпровідниковій промисловості.
Вафельні кораблики
Semicorex Wafer Boat виготовлено зі спеченої кераміки карбіду кремнію, яка має гарну стійкість до корозії та відмінну стійкість до високих температур і термічного удару. Удосконалена кераміка забезпечує чудову термостійкість і стійкість до плазми, одночасно пом’якшуючи частки та забруднювачі для носіїв пластин великої ємності.
Реакційно спечений карбід кремнію
Порівняно з іншими процесами спікання, зміна розміру реакційного спікання під час процесу ущільнення є невеликою, і можна виготовляти продукти з точними розмірами. Однак наявність великої кількості SiC в спеченому тілі погіршує високотемпературні характеристики реакційно спеченої кераміки SiC.
Спечений без тиску карбід кремнію
Спечений без тиску карбід кремнію (SSiC) є надзвичайно легкою та водночас твердою високоефективною керамікою. SSiC характеризується високою міцністю, яка залишається практично постійною навіть при екстремальних температурах.
Рекристалічний карбід кремнію
Перекристалізований карбід кремнію (RSiC) — це матеріали наступного покоління, утворені шляхом змішування грубого порошку карбіду кремнію високої чистоти та дрібного порошку високоактивного карбіду кремнію, а після цементації — вакуумного спікання при 2450 °C для рекристалізації.
|
|
Реакційний спечений карбід кремнію |
Спечений без тиску карбід кремнію |
Перекристалізований карбід кремнію |
Типові властивості |
одиниці |
Цінності |
|
|
Об'ємна щільність |
г/см3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Сила гнучкості |
МПа (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Міцність на стиск |
МПа (kpsi) |
1120(158) |
3970 (560) |
> 600 |
Твердість |
Кнуп |
2700 |
2800 |
/ |
Порушення наполегливості |
МПа м1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Теплопровідність |
Вт/м.к |
95 |
120 |
23 |
Коефіцієнт теплового розширення |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Питома теплоємність |
Джоуль/г 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Максимальна температура повітря |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Модуль пружності |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Сила гнучкості |
МПа (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) |
Semicorex Wafer Boat Carrier є вершиною інновацій у сфері обробки напівпровідників. Ретельно виготовлений із графіту та зміцнений ультрасучасним покриттям із хімічного осадження з парової фази (CVD) з карбіду кремнію (SiC), цей носій є прикладом точного машинобудування та передового матеріалознавства. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex Baffle Wafer Boat — це передове обладнання, яке використовується для обробки напівпровідників. Він був ретельно розроблений, щоб забезпечити безпеку делікатних вафель на критичних етапах виробництва. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитРоботна рука Semicorex Zirconia ZrO2, життєво важливий компонент у обробці напівпровідників для безшовної передачі та обробки пластин. Цей керамічний кронштейн, створений для роботи в умовах високих температур, корозійних і абразивних середовищ, може похвалитися неперевершеною довговічністю та надійністю. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитКерамічна насадка Semicorex Zirconia, створена з прискіпливою увагою до деталей, ця насадка є втіленням досконалості в управлінні швидкістю потоку як газів, так і рідин з неперевершеною рівномірністю та точністю. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитКерамічний патрон із нітриду алюмінію Semicorex — це передове рішення для обробки напівпровідникових пластин, спеціально розроблене для надійного утримання пластин на різних етапах виробництва. Функціонуючи як електростатичний патрон (ESC), цей інноваційний пристрій використовує виняткові властивості кераміки з нітриду алюмінію для забезпечення точного та надійного утримання пластини. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитТримач для пластин Semicorex з нітриду алюмінію (AlN) є незамінним компонентом у сфері обробки напівпровідників, служачи ключовою платформою для надійного утримання делікатних пластин на різних етапах виготовлення. Виготовлений з високоякісного нітриду алюмінію, відомого своєю винятковою теплопровідністю, механічною міцністю та електроізоляційними властивостями, цей тримач для пластин забезпечує оптимальні умови для точних і ефективних процесів виробництва напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит