Кільце фокусування або краєві кільця призначені для покращення рівномірності травлення по краю чи периметру пластини.
Фокусні кільця Semicorex мають покриття з карбіду кремнію за допомогою хімічного осадження з парової фази (CVD), що забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини та стійкості епі-шару, а також довговічну хімічну стійкість, які створені, щоб витримувати екстремальні умови в процесі плазмового або сухого травлення. .
Semicorex SiC Focus Ring — це кільцевий компонент високої чистоти з карбіду кремнію, призначений для оптимізації розподілу плазми та рівномірності процесу пластини у виробництві напівпровідників. Вибір Semicorex означає забезпечення стабільної якості, передової технології матеріалів і надійної роботи, яким довіряють провідні виробники напівпровідників у всьому світі.*
ДетальнішеНадіслати запит