Кільце фокусування або краєві кільця призначені для покращення рівномірності травлення по краю чи периметру пластини.
Фокусні кільця Semicorex покриті карбідом кремнію за допомогою хімічного осадження з парової фази (CVD), що забезпечує чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для постійної товщини та стійкості епі-шару, а також довговічну хімічну стійкість, які створені, щоб витримувати екстремальні умови в процесі плазмового або сухого травлення. .
Міцні кільця фокусування Semicorex для обробки напівпровідників розроблені таким чином, щоб витримувати екстремальні навколишні умови камер плазмового травлення, які використовуються в обробці напівпровідників. Наші фокусні кільця виготовлені з графіту високої чистоти, покритого щільним, зносостійким покриттям з карбіду кремнію (SiC). Покриття SiC має високі корозійні та термостійкі властивості, а також чудову теплопровідність. Ми наносимо SiC тонкими шарами на графіт за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD), щоб подовжити термін служби наших кілець фокусування.
ДетальнішеНадіслати запитКільце фокусування плазмової обробки Semicorex спеціально розроблено для задоволення високих вимог обробки плазмовим травленням у напівпровідниковій промисловості. Наші вдосконалені високочисті компоненти з покриттям з карбіду кремнію створені для роботи в екстремальних умовах і підходять для використання в різних сферах застосування, включаючи шари карбіду кремнію та епітаксійні напівпровідники.
ДетальнішеНадіслати запитУдосконалені високочисті фокусувальні кільця SiC від Semicorex створені для роботи в екстремальних умовах у камерах плазмового травлення (або сухого травлення). Ми зосереджені на напівпровідникових галузях, таких як шари карбіду кремнію та епітаксійні напівпровідники. Наші продукти мають гарну цінову перевагу та охоплюють багато європейських та американських ринків. Ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит