Під час обробки напівпровідникові пластини необхідно нагрівати в спеціалізованих печах. Реактор складається з подовжених циліндричних труб, у яких пластини розміщені на пластинах на заздалегідь визначеній рівновідстанній відстані. Для того, щоб витримати умови обробки всередині камери та мінімізувати відходи на пластини від обладнання для обробки, пластини та багато інших інші пристрої, які використовуються для обробки пластин, виготовлені з такого матеріалу, як карбід кремнію (SiC).
Човни, завантажені партією пластин для обробки, розташовуються на довгих консольних лопатях, за допомогою яких їх можна вставляти в трубчасті печі та реактори та витягувати з них. Весла включають сплощену опорну частину, на якій можна розташувати один або більше човнів, і довгу рукоятку, розташовану на одному кінці сплющеної опорної секції, за допомогою якої можна керувати веслом.
Консольна пластина рекомендована для використання рекристалізованого карбіду кремнію з тонким шаром CVD SiC, який є високою чистотою та найкращим вибором для компонентів у обробці напівпровідників.
Semicorex може надати індивідуальні послуги відповідно до креслень і робочого середовища.
Консольна лопатка Semicorex High Purity SiC виготовляється з високочистої спеченої кераміки SiC, яка є структурною частиною горизонтальної печі в напівпровіднику. Semicorex є досвідченою компанією з постачання SiC компонентів для напівпровідникової промисловості.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SiC Ceramic Paddle — це консольний компонент високої чистоти, розроблений для напівпровідникових високотемпературних печей, які в основному використовуються в процесах окислення та дифузії. Вибір Semicorex означає отримання доступу до передових керамічних рішень, які забезпечують виняткову стабільність, чистоту та довговічність для критичних застосувань обробки пластин.*
ДетальнішеНадіслати запитЛопатки Semicorex SiC — консольна рука з карбіду кремнію високої чистоти, розроблена для транспортування пластин у високотемпературних окислювальних і дифузійних печах вище 1000 ℃. Вибір Semicorex означає забезпечення виняткової якості матеріалів, високої точності розробки та довгострокової надійності, яким довіряють провідні виробники напівпровідників.*
ДетальнішеНадіслати запит