Піч кристалічного росту є основним обладнанням для росту кристалів карбіду кремнію. Він схожий на традиційну кристалічну піч для росту кристалів кремнію. Конструкція печі не дуже складна. В основному він складається з корпусу печі, системи нагріву, механізму передачі котушки, системи збору вакууму т......
Детальніше