Як професійний виробник, ми хотіли б надати вам напівпровідникові компоненти. Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті компоненти з покриттям SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від графітових витратних матеріалів для гарячих зон вирощування кристалів (нагрівачі, електроприймачі для тиглів, ізоляція) до високоточних графітових компонентів для обладнання для обробки пластин, таких як покриті карбідом кремнію графітові приймачі для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає графітову конструкцію з покриттям з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини і стійкості епі шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Кінцевий ефект →
Кінцевий ефектор — це рука робота, яка переміщує напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин і носіями.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Технологічні труби Semicorex SiC виготовляються з кераміки SiC високої чистоти з покриттям SiC CVD, вони підходять для горизонтальної печі в Semiconductor. Беручи до уваги якість продукції та післяпродажне обслуговування, Semicorex прагне вести високоякісний бізнес з нашими клієнтами по всьому світу.*
ДетальнішеНадіслати запитКонсольна лопатка Semicorex High Purity SiC виготовляється з високочистої спеченої кераміки SiC, яка є структурною частиною горизонтальної печі в напівпровіднику. Semicorex є досвідченою компанією з постачання SiC компонентів для напівпровідникової промисловості.*
ДетальнішеНадіслати запитПланарна монокристалічна кремнієва мішень від Semicorex є ключовим компонентом у передовій галузі виробництва напівпровідників. Виготовлений із високоякісного монокристалічного кремнію, він має високовпорядковану кристалічну структуру та дивовижну чистоту. Ці властивості роблять його ідеальним рішенням для виробництва надійних, високоефективних напівпровідникових і оптичних плівок.
ДетальнішеНадіслати запитСиліконові касетні човни Semicorex — це спеціалізовані носії, виготовлені з 99,9999999% монокристалічного та полікристалічного кремнію високої чистоти, особливо орієнтовані на виробництво високоякісних напівпровідників. Вибір Semicorex означає, що ви отримаєте переваги від надійної якості, послуг з налаштування та підвищення продуктивності.
ДетальнішеНадіслати запитІндивідуальний пористий керамічний патрон — це чудове рішення для затиску та фіксації заготовки, розроблене виключно для виробництва напівпровідників. Вибір Semicorex означає, що ви отримаєте переваги від надійної якості, послуг з налаштування та підвищення продуктивності.
ДетальнішеНадіслати запитМонокристалічна кремнієва душова насадка, відома як газова розпилювальна головка або газорозподільна пластина, є широко використовуваним газорозподільним пристроєм у процесах виробництва напівпровідників для ключових етапів процесу, таких як очищення, травлення та осадження. Високоякісна та економічно ефективна душова насадка з монокристалічного кремнію необхідна для підвищення точності та якості виробництва чіпів у напівпровідниковій промисловості.
ДетальнішеНадіслати запит