Як професійний виробник, ми хотіли б надати вам напівпровідникові компоненти. Semicorex — ваш партнер у вдосконаленні обробки напівпровідників. Наші покриття з карбіду кремнію є щільними, стійкими до високих температур і хімікатів, які часто використовуються в усьому циклі виробництва напівпровідників, включаючи напівпровідникові пластини, обробку пластин і виготовлення напівпровідників.
Високочисті компоненти з покриттям SiC мають вирішальне значення для процесів у напівпровіднику. Наша пропозиція варіюється від графітових витратних матеріалів для гарячих зон вирощування кристалів (нагрівачі, електроприймачі для тиглів, ізоляція) до високоточних графітових компонентів для обладнання для обробки пластин, таких як покриті карбідом кремнію графітові приймачі для епітаксії або MOCVD.
Переваги для напівпровідникових процесів
Фази осадження тонкої плівки, такі як епітаксія або MOCVD, або обробка пластин, наприклад травлення чи іонна імплантація, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення. Semicorex постачає графітову конструкцію з покриттям з карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, яка забезпечує чудову термостійкість і довговічну хімічну стійкість, рівномірну термічну однорідність для стабільної товщини і стійкості епі шару.
Кришки камери →
Кришки камер, які використовуються для вирощування кристалів і обробки пластин, повинні витримувати високі температури та жорстке хімічне очищення.
Кінцевий ефект →
Кінцевий ефектор — це рука робота, яка переміщує напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин і носіями.
Впускні кільця →
Газове вхідне кільце з покриттям SiC за допомогою обладнання MOCVD Зростання сполуки має високу стійкість до тепла та корозії, що має високу стабільність у екстремальних умовах.
Кільце фокусування →
Semicorex постачає кільце фокусування з покриттям з карбіду кремнію, яке дійсно стійке до RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення.
Вафельний патрон →
Ультраплоскі керамічні вакуумні вафельні патрони Semicorex мають покриття SiC високої чистоти, яке використовується в процесі обробки пластин.
Шліфувальний патрон Semicorex-це керамічний диск, виготовлений з білого глинозему з високою чистотою, призначений для шліфування вафельних крапель у виробництві напівпровідників. Вибір Semicorex забезпечує чудову якість матеріалу, точну інженерію та надійну продуктивність, що підтримує найвибагливіші середовища обробки вафель.*
ДетальнішеНадіслати запитПористі кліпки з глиноземи Semicorex - це мікропористий вакуумний кріплення чорного глинозему з 35–40% пористістю, призначений для забезпечення рівномірного всмоктування та безпечної обробки вафель у виробництві напівпровідників. Вибір Semicorex означає надійну керамічну інженерію, чудову якість матеріалу та послідовну продуктивність, що забезпечує врожайність та стабільність процесу.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex Al2O3 вакуумні умови - це мікропориста керамічна адсорбційна адсорбційна кріплення, виготовлена з чорного глинозему з пористістю 35–40%, спеціально розробленою для обробки вафель у напівпровідникових програмах. Вибір Semicorex означає користь від передових керамічних технологій, точної інженерії та надійної якості продукції, що забезпечує стабільну продуктивність у вимогливих чистого середовища.*
ДетальнішеНадіслати запитКерамічна рука Semicorex Alumina-це робототехнічний компонент високої чистоти, призначений для точної та без забруднення вафельної обробки у виробництві напівпровідників. Вибір Semicorex забезпечує не лише вдосконалену якість керамічного матеріалу з глиноземи, але й точну майстерність, яка гарантує довговічність, чистоту та надійність у критичних процесах.*
ДетальнішеНадіслати запитКільця Semicorex SIC-це високоефективні компоненти карбіду кремнію, розроблені для обладнання для переробки напівпровідників, пропонуючи виняткову термічну стійкість, хімічну стійкість та точну обробку. Вибір Semicorex означає отримати доступ до надійних, індивідуальних та без забруднень рішень, довірених провідними виробниками напівпровідників.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SIC ARM-це компонент карбіду з високою чистотою кремнію, призначений для точного поводження з вафлями та позиціонування у виробництві напівпровідників. Вибір Semicorex забезпечує неперевершену надійність матеріалу, хімічну стійкість та точну інженерію, яка підтримує найвибагливіші напівпровідникові процеси.*
ДетальнішеНадіслати запит