Графітова центральна пластина Semicorex або MOCVD-суцептор — це високочистий карбід кремнію, покритий методом хімічного осадження з парової фази (CVD), який використовується в процесі для нарощування епітаксійного шару на чіпі пластини. Токоприймач, покритий SiC, є важливою частиною MOCVD, тому він вимагає чудової теплової та хімічної стійкості, а також високої термічної однорідності. Ми розробили спеціально для цього вимогливого обладнання для епітаксії.