Покриття SiC – це тонкий шар, нанесений на чутливий елемент за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD). Карбід кремнію має низку переваг перед кремнієм, включаючи 10-кратну напруженість електричного поля пробою, 3-кратну ширину забороненої зони, що забезпечує матеріал стійкістю до високих температур і хімічних речовин, відмінною зносостійкістю, а також теплопровідністю.
Semicorex надає індивідуальне обслуговування, допомагає вам впроваджувати інновації з компонентами, які служать довше, скорочують час циклу та підвищують врожайність.
Покриття SiC має кілька унікальних переваг
Стійкість до високих температур: токоприймач із покриттям CVD SiC може витримувати високі температури до 1600°C без значного термічного руйнування.
Хімічна стійкість: покриття з карбіду кремнію забезпечує чудову стійкість до широкого спектру хімічних речовин, включаючи кислоти, луги та органічні розчинники.
Зносостійкість: покриття SiC надає матеріалу чудову зносостійкість, що робить його придатним для застосувань із високим зносом.
Теплопровідність: покриття CVD SiC надає матеріалу високу теплопровідність, що робить його придатним для використання в умовах високих температур, які потребують ефективної теплопередачі.
Висока міцність і жорсткість: токоприймач, покритий карбідом кремнію, надає матеріалу високу міцність і жорсткість, що робить його придатним для застосувань, які вимагають високої механічної міцності.
Покриття SiC використовується в різних сферах застосування
Виробництво світлодіодів: CVD SiC-покривний чутливий елемент використовується у виробництві різних типів світлодіодів, включаючи сині та зелені світлодіоди, ультрафіолетові світлодіоди та глибокі ультрафіолетові світлодіоди, завдяки своїй високій теплопровідності та хімічній стійкості.
Мобільний зв’язок: CVD-SiC-покривний приймач є важливою частиною HEMT для завершення епітаксійного процесу GaN-on-SiC.
Обробка напівпровідників: CVD SiC-суцептор із покриттям використовується в напівпровідниковій промисловості для різних застосувань, включаючи обробку пластин та епітаксійне зростання.
Графітові компоненти з покриттям SiC
Виготовлене з графіту з карбіду кремнію (SiC), покриття наноситься методом CVD на певні сорти графіту високої щільності, тому воно може працювати у високотемпературній печі з температурою понад 3000 °C в інертній атмосфері та 2200 °C у вакуумі. .
Особливі властивості та невелика маса матеріалу забезпечують швидкий нагрів, рівномірний розподіл температури та виняткову точність контролю.
Матеріальні дані покриття Semicorex SiC
Типові властивості |
одиниці |
Цінності |
Структура |
|
FCC β фаза |
Орієнтація |
частка (%) |
111 бажано |
Об'ємна щільність |
г/см³ |
3.21 |
Твердість |
Твердість за Віккерсом |
2500 |
Теплоємність |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Теплове розширення 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6К-1 |
4.5 |
Модуль Юнга |
Gpa (вигин 4 точки, 1300 °) |
430 |
Розмір зерна |
μm |
2~10 |
Температура сублімації |
℃ |
2700 |
Згинальна сила |
МПа (RT 4 точки) |
415 |
Теплопровідність |
(Вт/мК) |
300 |
Висновок CVD SiC-суцептор з покриттям є композиційним матеріалом, який поєднує в собі властивості токоприймача та карбіду кремнію. Цей матеріал має унікальні властивості, включаючи стійкість до високих температур і хімічних речовин, чудову зносостійкість, високу теплопровідність, а також високу міцність і жорсткість. Ці властивості роблять його привабливим матеріалом для різноманітних високотемпературних застосувань, включаючи обробку напівпровідників, хімічну обробку, термічну обробку, виробництво сонячних батарей і світлодіодів.
Тримач для човна з карбіду кремнію Semicorex — це спеціальний продукт, виготовлений із матеріалу SiC, ретельно розроблений для застосування в таких галузях, як фотоелектрична, електроніка та напівпровідники. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex Solar Graphite Boat, прецизійний тримач для пластин, розроблений для задоволення високих вимог високотемпературної обробки напівпровідників. Цей інноваційний човен, виготовлений із графіту преміум-класу, забезпечує неперевершену термостійкість і довговічність, забезпечуючи оптимальну продуктивність навіть у найскладніших умовах печі. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex Support Crucible є ключовим компонентом у складному процесі вирощування кристалів кремнію на сонячних батареях, слугуючи міцною основою для перетворення сировини у високоякісні кремнієві злитки, призначені для фотоелектричних систем. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex Barrel Susceptor with SiC Coating — це передове рішення, призначене для підвищення ефективності та точності епітаксійних процесів кремнію. Створений з прискіпливою увагою до деталей, цей стволовий токоприймач із SiC-покриттям відповідає вимогам виробництва напівпровідників, слугуючи оптимальним тримачем для пластин і полегшуючи безперебійну передачу тепла пластинам. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SiC Barrel For Silicon Epitaxy розроблено відповідно до високих вимог прикладних матеріалів і LPE. Створений з точністю та інноваціями, цей бочкоподібний сприймач виготовлено з високоякісного графіту з кремнієвим карбідом, що забезпечує виняткову продуктивність і довговічність у застосуваннях із застосуванням кремнієвої епітаксії. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запитGraphite Susceptor Semicorex із покриттям SiC є важливим компонентом, призначеним для процесів кремнієвої епітаксії в установках Applied Materials і LPE (Liquid Phase Epitaxy). Виготовлений із високоякісного графітового матеріалу, покритого карбідом кремнію (SiC), цей чутливий елемент забезпечує чудову продуктивність і довговічність у середовищі виробництва напівпровідників. Semicorex прагне надавати якісну продукцію за конкурентоспроможними цінами, ми з нетерпінням чекаємо можливості стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
ДетальнішеНадіслати запит