Кераміка з карбіду кремнію (SiC) — це вдосконалений керамічний матеріал, що містить кремній і вуглець. Зерна карбіду кремнію можна з’єднати разом шляхом спікання з утворенням дуже твердої кераміки. Semicorex постачає на замовлення кераміку з карбіду кремнію відповідно до ваших потреб.
Додатки
Властивості кераміки з карбіду кремнію залишаються незмінними до температур вище 1400°C. Високий модуль Юнга > 400 ГПа забезпечує чудову стабільність розмірів.
Типовим застосуванням компонентів з карбіду кремнію є технологія динамічного ущільнення з використанням підшипників ковзання та механічних ущільнень, наприклад, у насосах і системах приводу.
Завдяки вдосконаленим властивостям карбідокремнієва кераміка також ідеально підходить для використання в напівпровідниковій промисловості.
Вафельні кораблики →
Semicorex Wafer Boat виготовлено зі спеченої кераміки карбіду кремнію, яка має гарну стійкість до корозії та відмінну стійкість до високих температур і термічного удару. Удосконалена кераміка забезпечує чудову термостійкість і стійкість до плазми, одночасно пом’якшуючи частки та забруднювачі для носіїв пластин великої ємності.
Реакційно спечений карбід кремнію
Порівняно з іншими процесами спікання, зміна розміру реакційного спікання під час процесу ущільнення є невеликою, і можна виготовляти продукти з точними розмірами. Однак наявність великої кількості SiC в спеченому тілі погіршує високотемпературні характеристики реакційно спеченої кераміки SiC.
Спечений без тиску карбід кремнію
Спечений без тиску карбід кремнію (SSiC) є надзвичайно легкою та водночас твердою високоефективною керамікою. SSiC характеризується високою міцністю, яка залишається практично постійною навіть при екстремальних температурах.
Рекристалічний карбід кремнію
Перекристалізований карбід кремнію (RSiC) — це матеріали наступного покоління, утворені шляхом змішування грубого порошку карбіду кремнію високої чистоти та дрібного порошку високоактивного карбіду кремнію, а після цементації — вакуумного спікання при 2450 °C для рекристалізації.
Газовідвідні диски з SiC-покриттям Semicorex є незамінними графітовими компонентами, що застосовуються в напівпровідниковому епітаксіальному обладнанні, розробленому спеціально для регулювання потоку реакційного газу та сприяння рівномірному розподілу газу в реакційній камері. Виберіть Semicorex, оберіть оптимальні рішення для відведення газу для високоякісних результатів епітаксійної обробки пластин.
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SiC Wafer Carrier виготовлено з високочистої кераміки з карбіду кремнію за допомогою технології 3D-друку, що означає, що він може виготовляти дорогоцінні компоненти за короткий час. Вважається, що компанія Semicorex надає кваліфіковану високоякісну продукцію нашим клієнтам у всьому світі.*
ДетальнішеНадіслати запитВерхні ґрунтові кільця з SiC-покриттям Semicorex CVD є основними кільцеподібними компонентами, розробленими спеціально для складного обладнання для плазмового травлення. Як провідний у галузі постачальник напівпровідникових компонентів, Semicorex зосереджується на постачанні високоякісних, довговічних і надчистих верхніх заземлюючих кілець із CVD SiC-покриттям, щоб допомогти нашим цінним клієнтам підвищити ефективність роботи та загальну якість продукції.
ДетальнішеНадіслати запитУщільнення Semicorex SiC - це високоефективні механічні лицьові компоненти, розроблені для забезпечення чудової зносостійкості, термічної стабільності та універсальної хімічної інертності в найвимогливіших середовищах обертового обладнання. Semicorex є професійним постачальником SiC керамічних матеріалів, який може постачати високоточні продукти для клієнтів у всьому світі.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SiC Pedestal — це високоточний, багатофункціональний апаратний компонент, призначений для забезпечення термічної стабільності та складного розподілу рідини, необхідних для передових мікроканальних реакційних систем. Semicorex спеціалізується на розробці та постачанні цих п’єдесталів з SiC високої чистоти відповідно до потреб клієнтів.*
ДетальнішеНадіслати запитШтифтові патрони з карбіду кремнію Semicorex — це прецизійно виготовлені високоефективні вакуумні адсорбційні пристосування, розроблені спеціально для закріплення та фіксації пластин у процесах фотолітографії та склеювання. Вибір Semicorex означає, що ви отримаєте оптимальні адсорбційні рішення, які допоможуть підвищити продуктивність і ефективність обробки напівпровідників.
ДетальнішеНадіслати запит