Кінцевий ефектор — це рука робота, яка переміщує напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин і носіях. Кінцевий ефектор повинен мати точні розміри та термостабільність, водночас мати гладку, стійку до стирання поверхню для безпечного поводження з пластинами без пошкодження пристроїв або забруднення частинками.
Компоненти покриття Semicorex високої чистоти з карбіду кремнію (SiC) забезпечують чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини епі-шару та стійкості, а також тривалу хімічну стійкість.
Керамічна рука Semicorex Alumina-це робототехнічний компонент високої чистоти, призначений для точної та без забруднення вафельної обробки у виробництві напівпровідників. Вибір Semicorex забезпечує не лише вдосконалену якість керамічного матеріалу з глиноземи, але й точну майстерність, яка гарантує довговічність, чистоту та надійність у критичних процесах.*
ДетальнішеНадіслати запитSemicorex SIC ARM-це компонент карбіду з високою чистотою кремнію, призначений для точного поводження з вафлями та позиціонування у виробництві напівпровідників. Вибір Semicorex забезпечує неперевершену надійність матеріалу, хімічну стійкість та точну інженерію, яка підтримує найвибагливіші напівпровідникові процеси.*
ДетальнішеНадіслати запитПальці Semicorex SIC-це точні інженерні компоненти, виготовлені з карбіду з високою чистотою кремнію, розробленого для виконання екстремальних вимог виготовлення напівпровідників. Вибір Semicorex означає доступ до розширеної матеріальної експертизи, високоточної обробки та надійних рішень, довірених критичним програмам обробки вафель.*
ДетальнішеНадіслати запит