Кінцевий ефектор — це рука робота, яка переміщує напівпровідникові пластини між позиціями в обладнанні для обробки пластин і носіях. Кінцевий ефектор повинен мати точні розміри та термостабільність, водночас мати гладку, стійку до стирання поверхню для безпечного поводження з пластинами без пошкодження пристроїв або забруднення частинками.
Компоненти покриття Semicorex високої чистоти з карбіду кремнію (SiC) забезпечують чудову термостійкість, рівномірну термічну однорідність для сталої товщини епі-шару та стійкості, а також тривалу хімічну стійкість.