Носій Semicorex RTP покритий карбідом кремнію за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази (CVD), який є дійсно стабільним для RTA, RTP або жорсткого хімічного очищення. В основі напівпровідникового процесу, епітаксійні рецептори, спочатку піддаються впливу середовища осадження, тому він має високу термостійкість і стійкість до корозії. Носій, покритий SiC, також має високу теплопровідність і відмінні властивості розподілу тепла.
● Високочистий графіт із покриттям SiC
● Чудова термостійкість і хімічна стійкість
● Висока теплова однорідність
● Відмінна зносостійкість