Кришки камер використовуються для створення чистого, інертного та захищеного середовища в камерах осадження, тому вони піддаються впливу плазми та високої температури під час процесів осадження або травлення. Кришки камери Semicorex — це міцні керамічні компоненти, покриті карбідом кремнію за допомогою методу хімічного осадження з парової фази (CVD), чудово витримують ці складні умови.