Представлення матеріалу глинозему

Кераміка глиноземуКомпоненти мають чудові властивості, такі як висока твердість, висока механічна міцність, супер зносостійкість, висока температура, високий опір та хороші електричні ізоляційні показники. Вони можуть відповідати складним вимогам продуктивності виробництва напівпровідників у спеціальних середовищах, таких як вакуум та висока температура. Вони відіграють незамінну та важливу роль у виробничих лініях виробництва напівпровідників. Їх додатки охоплюють майже все напівпровідникове обладнання для виробництва та є ключовими компонентами виробничого обладнання напівпровідника. З постійним розвитком напівпровідникової галузі важливість керамічних компонентів глинозему в промисловому ланцюзі стане більш помітною.

У міру зменшення розміру чіпа напівпровідникове обладнання має більш жорсткі вимоги до компонентів, а його щільність, рівномірність, резистентність до корозії тощо повинні бути вищими. В останні роки побутові та іноземні вчені розробили різноманітні нові процеси для поліпшення умов спікання керамічних матеріалів з глинозему, щоб вони могли досягти швидкої ущільнення матеріалів при нижчому температурі спікання, таких як самозавантаження високотемпературного спікання, спалахи спалаху, холодне спікання та коливання тиску. Серед них холодний спікання полягає в тому, щоб додати до порошку перехідний розчинник і чинити великий тиск (350 ~ 500 мпА) для посилення перестановки та дифузії між частинками, щоб керамічний порошок міг бути спікати та ущільнюватися при меншій температурі (120 ~ 300 ℃) і коротший час.

В даний час глобальний процес виробництва інтегрованих ланцюгів розвинувся до більш досконалого процесу на рівні 3-нанометра. Напівпровідникові обладнання та точні компоненти напівпровідникового обладнання повинні бути постійно розроблені та модернізовані, а для задоволення потреб у виробництві повинні бути вдосконалені. Після оновлення напівпровідникового обладнання конкретні вимоги нового обладнання для компонентів змінять синхронно. З розвитком напівпровідникової технології вимоги до продуктивності для керамічних компонентів глинозему стають вищими та вищими, включаючи більш високу стійкість до зносу, високу температуру та кращу електричну ізоляцію. Тенденції промисловості, як правило, розвивають більш високу чистоту, тоншу структуру порошкоподібних матеріалів з глиноземи та приймають передові технології підготовки.

Кераміка глиноземумають дуже високі вимоги до чистоти при використанні у напівпровідниковому полі, як правило, більше 99,5%. У напівпровідниковому полі керамічні частини глинозему є однією з ключових частин напівпровідникового обладнання. Більшість з них використовуються в камерах, ближчих до вафель. У напівпровідниковому обладнанні вони класифікуються за допомогою використання і в основному поділяються на кільцеві циліндри, путівники повітряного потоку, несуть навантаження, витягнуті вручну прокладки, модулі тощо

У процесі травлення, щоб зменшити забруднення пластини під час травлення в плазмі, покриття з високою чистотою або глиноземи з сильною резистентністю до корозії вибираються як захисні матеріали для травлення та камерної оболонки.

У процесі очищення плазми використовуються корозійні гази, що містять високореактивні галогенні елементи, такі як фтор та хлор. Газова насадка зазвичай виготовляється з глинозевої кераміки, яка повинна мати високу стійкість до плазми, діелектричну міцність та сильну стійкість до корозії до переробних газів та побічних продуктів. У той же час, для точного контролю газового потоку використовується внутрішня точність отвору.

У процесі виготовлення напівпровідників пластина може пройти високотемпературну обробку, наприклад, травлення, іонна імплантація тощо. Як носій для передачі вафель, алюмінський перевізник може забезпечити стабільність та безпеку вафельних виробів під час процесу передачі. Перевізник вафельного алюмінму має хорошу теплопровідність і може ефективно розповсюджувати та експортувати тепло, що утворюється пластинкою, тим самим захищаючи пластину від термічного пошкодження.

У поводженні з вафлями буде використана керамічна робототехнічна рука з глинозевої кераміки. Він буде встановлений на робот -обробці вафель, який еквівалентний руці робота. Він несе відповідальність за перенесення вафлі до визначеного місця, а його поверхня прямо контактує з вафельною. Оскільки вафлі надзвичайно сприйнятливі до забруднення іншими частинками, вони, як правило, проводяться у вакуумному середовищі. У цьому середовищі робототехнічним озброєнням більшості матеріалів, як правило, важко виконати роботу. Матеріали, що використовуються для виготовлення робототехнічних рук, повинні бути стійкими до високих температур, стійких до зносу та мають високу твердість. Завдяки вимогам умов праці, вони, як правило, виготовляються з надзвичайно чистоти керамічних матеріалів з глиноземи, і точність та шорсткість поверхні керамічних деталей повинні бути гарантовані.

Semicorex пропонує якіснуКерамічні частини глиноземуУ напівпровіднику, включаючи покриття SIC та покриття TAC. Якщо у вас є якісь запити або потрібні додаткові деталі, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Зверніться до телефону # +86-13567891907

Електронна пошта: sales@semicorex.com