Провідні графітові нагрівачі

ЗГрафітовий нагрівач провідного покриття- новий продукт, призначений для високотемпературної напівпровідникової обробки та інших вакуумних теплових систем. Він використовує хорошу теплову стабільність графіту високої чистоти та чудові поверхневі характеристики кремнієвого карбіду (SIC) покриття. Графітовий нагрівач провідного покриття додатково диференціюється своїм шаром SIC, легованого азотом, який пропонує значно покращену поверхневу провідність, що робить його особливо добре підходить для застосувань, які потребують контрольованого та навіть нагрівання з великими електричними показниками.

Нагрівач побудований з високоміцною графітовою підкладкою, яка діє як структурний та тепловий провідник ядра. Графіт був обраний, зокрема, враховуючи високий рівень теплопровідності, низький коефіцієнт теплового розширення та стійкість до теплового шоку. Ці характеристики роблять графіт відповідним базовим матеріалом у високотемпературних процесах, де можуть бути швидкі цикли нагрівання та охолодження. Однак сам незайманий графіт хімічно реагує в певних атмосферах і може відчувати пошкодження поверхні або деградацію, випромінювання частинок або перенесення під час розширеного використання, особливо в напівпровідникових умовах.

Для подолання цих обмежень графітова частина покрита товстим, високим чистою SIC-шару. Покриття SIC виконує декілька функцій: воно забезпечує рівень захисту від окислення та хімічної корозії, він забезпечує дуже жорстку, стійку до зносу поверхні, і забезпечує сумісність із вакуумними та чистими стандартами. SIC має репутацію надзвичайної твердості, високої теплопровідності та хімічної інертності; З цієї причини це відмінний матеріал покриття для високопродуктивних теплових компонентів.

Унікальним інноваціям цього продукту є азотне допінг покриття SIC. Під час процесу осадження хімічної пари (ССЗ) атоми азоту вбудовуються в решітку SIC, виробляючи вільні носії, які можуть різко знизити його поверхневий опір, а отже, створювати провідний поверхневий шар і дозволяти струму безпосередньо проходити, а не використовувати точку доступу через покриття SIC, тим самим дозволяючи весь графіт компонента в якості резистивного нагрівального елемента.

КласичнийSIC покриттяє неулятивними, що дійсно обмежує їх у сфері активних електричних застосувань. І навпаки, азотовий шар SIC на нагрівачі має надзвичайно низьку поверхневу стійкість, зберігаючи при цьому всі механічні та хімічні переваги класичного SIC. Провідний шар забезпечує дуже хорошу рівномірність струму і мінімізує втрату потужності, покращуючи тепловий розподіл на поверхні нагрівача. Він особливо ідеально підходить для точного опалення застосування в умовах, часто пов'язаних з епітаксіальними реакторами, дифузійними печами та обладнанням швидкої термічної обробки (RTP).

Геометрія нагрівача, типово спіральна або змієна, як показано на зображенні, розроблена та оптимізована з наміром виробляти рівномірну теплову енергію та рівномірне електричне навантаження. Завдяки інтегрованій конструкції графітового та електропровідного покриття SIC, електричні контакти можуть бути здійснені безпосередньо на покритій поверхні, що виключає необхідність будь -яких додаткових електродів або металевого з'єднання. Це зменшує ризики забруднення та призводить до більш простого складання. Отже, загальна ефективність покращується.

Ключові переваги провідникаГрафітовий нагрівач з покриттямвключити:

Відмінна електрична провідність за рахунок допінгу азоту, що забезпечує постійний потік струму та ефективне резистивне нагрівання.

Верхня теплова рівномірність з точним контролем температури на всій площі поверхні.

Висока хімічна стійкість, особливо в корозійних середовищах, таких як водне, аміак або атмосфера, багаті галогеном.

Мінімальна генерація частинок, відповідаючи суворим вимогам чистоти напівпровідникового виготовлення.

Розширений термін служби, завдяки механічній міцності та стійкості до теплового удару як графітового ядра, так і SIC покриття.

Програми для цього нагрівача поширюються на ряді передових технологічних галузей. Нагрівач знайде місце в напівпровідникових виробничих процесах, таких як хімічне осадження пари (ССЗ), епітаксія молекулярного променя (MBE) та виплання вафель, де точне контроль температури та чистота матеріалів є критичними. Графітовий нагрівач з покриттям SIC також може бути використаний у фотоелектричному виробництві, спіканні вдосконаленої кераміки та в інших теплових процесах, де потрібні більш високі показники, довговічність та надійні нагрівачі.

Підсумовуючи, провідний графітовий нагрівач з покриттям SIC є вражаючим просуванням у розробці теплових компонентів. Використовуючи азотне покриття SIC, ми розробили ефективний тепловий продукт, який успішно поєднує хімічну стабільність покриття SIC з електричною провідністю. Таким чином, виробництво теплового процесу, який є більш ефективним, чистішим та надійнішим для найвибагливіших промислових програм. Напівпровідникові та матеріали промисловості стикаються з постійними змінами, а гібридні матеріали такого роду стане все більш важливими для забезпечення майбутніх більш досконалих технологій виробництва.

Semicorex пропонує якіснуГрафітові нагрівачі з покриттямпродукти. Якщо у вас є якісь запити або потрібні додаткові деталі, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Зверніться до телефону # +86-13567891907

Електронна пошта: sales@semicorex.com