Що таке кільця в офорті

У виробництві мікросхем фотолітографія та травлення є двома тісно пов’язаними етапами. Фотолітографія передує травленню, коли малюнок ланцюга проявляється на пластині за допомогою фоторезисту. Потім травлення видаляє шари плівки, не покриті фоторезистом, завершуючи перенесення візерунка з маски на пластину та підготовку до наступних кроків, таких як іонна імплантація.

Травлення передбачає вибіркове видалення непотрібного матеріалу за допомогою хімічних або фізичних методів. Після нанесення покриття, покриття резистом, фотолітографії та проявлення травлення видаляє непотрібний тонкоплівковий матеріал, відкритий на поверхні пластини, залишаючи лише потрібні ділянки. Потім надлишки фоторезисту видаляються. Багаторазове повторення цих кроків створює складні інтегральні схеми. Оскільки травлення передбачає видалення матеріалу, його називають «субтрактивним процесом».

У виробництві мікросхем фотолітографія та травлення є двома тісно пов’язаними етапами. Фотолітографія передує травленню, коли малюнок ланцюга проявляється на пластині за допомогою фоторезисту. Потім травлення видаляє шари плівки, не покриті фоторезистом, завершуючи перенесення візерунка з маски на пластину та підготовку до наступних кроків, таких як іонна імплантація.

У процесі травлення ми в основному будемо використовувати два типи кілець: кільця фокусування та кільця екранування.

Кільце фокусування

Через крайовий ефект плазми щільність вища в центрі та нижча на краях. Кільце фокусування завдяки своїй кільцевій формі та властивостям матеріалу CVD SiC створює певне електричне поле. Це поле направляє та утримує заряджені частинки (іони та електрони) у плазмі до поверхні пластини, особливо на краю. Це ефективно підвищує щільність плазми на краю, наближаючи її до щільності в центрі. Це значно покращує рівномірність травлення по всій пластині, зменшує пошкодження країв і збільшує продуктивність.

Кільце-щит

Зазвичай розташовується поза електродом, його основна функція — блокувати перетікання плазми. Залежно від конструкції він також може функціонувати як частина електрода. Загальні матеріали включають CVD SiC або монокристалічний кремній.

Semicorex пропонує високу якістьCVD SiCіКремнійТравлення кілець на основі потреб клієнтів. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com