Обробка поверхні для високоякісного електростатичного патрона

Theелектростатичний патронвиконує кілька функцій, таких як рівномірний електростатичний розряд, теплопровідність і адсорбція та фіксація пластин у сфері виробництва напівпровідників. Однією з основних функцій ESC є стабільна адсорбція пластин в екстремальних умовах експлуатації, таких як високий вакуум, сильна плазма та широкий діапазон температур.

Те, що справді визначає їх продуктивність, - це не зовнішня структура чи формула основного матеріалу, а процес обробки поверхні. Без професійної обробки поверхні під час експлуатації виникнуть такі проблеми:

1. Плазмова ерозія та забруднення іонами металів

Незахищені керамічні поверхні вразливі до плазмової ерозії під час процесів травлення або CVD. Цей тип ерозії може безпосередньо призвести до вивільнення іонів металу або осипання керамічних частинок, тим самим забруднюючи пластину.

2. Нерівномірна теплопровідність і деформація короблення

Шорсткі поверхні або погана обробка призводять до нерівного контакту між пластиною таESC, перешкоджаючи теплопровідності та впливаючи на однорідність CD.

3. Нестійка електростатична адсорбція

Неточний контроль характеристик ізоляції поверхні або провідності електростатичного патрона може легко призвести до недостатньої сили адсорбції або надмірної адсорбції, що в кінцевому підсумку безпосередньо впливає на продуктивність обробки пластин.

Завдяки високій твердості, плазмостійкості та низькому коефіцієнту тертя вони підходять для застосування в травильному обладнанні для запобігання ерозії та відшарування часток.

Загальні технології обробки поверхні високоякісних ЕСК:

1. Фторполімерні неадгезивні покриття (такі як PTFE та PFA)

Завдяки високій твердості, плазмостійкості та низькому коефіцієнту тертя вони підходять для застосування в травильному обладнанні для запобігання ерозії та відшарування часток.

2. Алмазоподібні вуглецеві (DLC) покриття

Завдяки високій твердості, плазмостійкості та низькому коефіцієнту тертя вони підходять для застосування в травильному обладнанні для запобігання ерозії та відшарування часток.

3. PVD провідні керамічні плівки (такі як CrSiN і TiN)

Цей тип покриття може побудувати стабільний провідний шлях у певній області, і таким чином ефективно уникнути проблеми локального накопичення заряду шляхом точного контролю рівномірного розряду поверхневих зарядів.

4. Композитні теплопровідні покриття (такі як алмазний порошок і фторполімерне гібридне покриття)

Цей тип покриття поєднує в собі неадгезійні якості з теплопровідністю, а його загальні характеристики можуть точно відповідати вимогам застосування високоточного термоконтролю ESC.