Що таке процес кремнієвої епітаксії?

Кремнієва епітаксія є основним процесом виготовлення інтегральних схем. Це дозволяє виготовляти IC-пристрої на слаболегованих епітаксіальних шарах із сильно легованими прихованими шарами, а також формувати вирощені PN-переходи, таким чином вирішуючи проблему ізоляції IC.Кремнієві епітаксіальні пластинитакож є основним матеріалом для виготовлення дискретних напівпровідникових пристроїв, оскільки вони можуть забезпечити високу напругу пробою PN-переходів, одночасно зменшуючи пряме падіння напруги пристроїв. Використання кремнієвих епітаксійних пластин для виготовлення CMOS-схем може пригнічувати ефект фіксації, тому кремнієві епітаксійні пластини все ширше використовуються в пристроях CMOS.

Принцип кремнієвої епітаксії

4. У поєднанні з технологією маскування вибіркове епітаксійне зростання може виконуватися у визначених областях, створюючи умови для виготовлення інтегральних схем і пристроїв зі спеціальною структурою.

Переваги кремнієвої епітаксії для пристроїв

1. Знизьте послідовний опір, спростіть методи ізоляції та зменшіть ефект керованого кремнієм випрямляча в CMOS.

2. Епітаксіальні шари з високим (низьким) опором можуть бути епітаксіально вирощені на підкладках з низьким (високим) опором;

3. Епітаксіальний шар типу N(P) можна виростити на підкладці типу P(N) для безпосереднього формування PN-переходу, усуваючи проблему компенсації, яка виникає під час виготовлення PN-переходу на монокристалічній підкладці за допомогою методу дифузії.

4. У поєднанні з технологією маскування вибіркове епітаксійне зростання може виконуватися у визначених областях, створюючи умови для виготовлення інтегральних схем і пристроїв зі спеціальною структурою.

5. Під час процесу епітаксійного росту тип і концентрацію легування можна регулювати за потреби; зміна концентрації може бути як різкою, так і поступовою.

6. Тип і концентрацію легуючих добавок можна регулювати за потреби під час процесу епітаксійного росту. Зміна концентрації може бути різкою або поступовою.

Semicorex забезпечує Si епітаксіальний cкомпонентинеобхідний для для напівпровідникової апаратури. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com