Чому CO2 вводиться під час виробництва пластин

Додавання CO₂ у воду для нарізання кубиками є важливим технічним заходом у процесі розпилювання пластин для придушення накопичення статичної електрики та зменшення забруднення, тим самим підвищуючи продуктивність нарізання та надійність чіпсів.

Усунути статичну електрику

TheвафельнийПроцес нарізання кубиками вимагає використання високошвидкісних обертових алмазних лез для різання, тоді як DI вода розпилюється для охолодження та очищення. Під час цього процесу тертя створює велику кількість статичного заряду. Одночасно, DI вода зазнає слабкої іонізації під час розпилення під високим тиском і зіткнення, утворюючи невелику кількість іонів. Сам кремнієвий матеріал має властивість легко накопичувати електричний заряд. Якщо цю статичну електрику не контролювати, її напруга може перевищити 500 В, що призведе до електростатичного розряду. Це може не тільки пошкодити металеву проводку ланцюга або спричинити розтріскування міжшарових діелектриків, але також призвести до забруднення пластини кремнієвим пилом через електростатичну адсорбцію або спричинити проблеми з підняттям з’єднання на контактних площадках.

Коли CO₂ вводиться у воду, він розчиняється й утворює H₂CO₃. H₂CO₃ піддається іонізації з утворенням H⁺ і HCO3⁻, що значно підвищує провідність води, одночасно ефективно знижуючи її питомий опір. Ця підвищена провідність дозволяє швидко передавати статичні заряди на землю через потік води, запобігаючи накопиченню заряду. Крім того, як слабко електронегативний газ, CO₂ може бути іонізований у високоенергетичному середовищі з утворенням заряджених частинок (таких як CO₂⁺ і O⁻). Ці частинки можуть нейтралізувати заряд, який несуть поверхні пластин або пил, тим самим зменшуючи ризик електростатичної адсорбції та електростатичного розряду.

Зменшити забруднення та захистити поверхні

Кремнієвий пил, що утворюється під часвафельнийпроцес пиляння може накопичувати статичну електрику, яка може прилипати до пластини або поверхні обладнання та призводити до забруднення. У той же час, якщо охолоджувальна вода є лужною, це призведе до утворення гідроксидних осадів металевими частинками (наприклад, іонами Fe, Ni та Cr у нержавіючій сталі). Осад гідроксиду буде осідати на поверхні пластини або в каналах для нарізання, впливаючи на якість стружки.

Коли вводиться CO₂, він нейтралізує електричні заряди, послаблюючи електростатичну силу між пилом і поверхнею. Водночас повітряний потік CO₂ запобігає вторинному прилипанню, розсіюючи пил у зоні різання. Додавання CO₂ також створює помірно кисле середовище, яке перешкоджає осадженню іонів металів, утримуючи їх у розчиненому стані та дозволяючи потоку води нести їх. Крім того, оскільки CO₂ є інертним газом, він зменшує контакт між кремнієвим пилом і киснем, запобігаючи окисленню та агломерації пилу та додатково підвищуючи чистоту середовища різання.

Semicorex пропонує високу якістьвафлідля наших шановних клієнтів. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com