Що таке насічка на пластинах?

Пластинова виїмка являє собою V-подібну або U-подібну канавку на краю aнапівпровідникова пластина. Це далеко не дефект, який виник під час виробничого процесу, це критичний структурний маркер, який був навмисно розроблений, основна функція якого полягає у забезпеченні точного позиціонування та ідентифікації орієнтації пластини. Плоска пластина використовувалася як орієнтаційне маркування на ранніх етапах розвитку технології пластин. Однак у міру того, як розмір пластини поступово збільшувався, конструкція з плоским краєм займала більшу ефективну площу, таким чином її поступово замінювали більш компактні виїмки.

Яку функцію виконує виїмка для пластин? 

Виробництво чіпів — це процес нанометрового масштабу, у якому будь-яке відхилення напрямку може призвести до збою схеми. Служачи орієнтаційною маркуванням, виїмка на пластині дозволяє літографічним і травильним машинам швидко визначити орієнтацію кристала пластини, забезпечуючи точне вирівнювання кожного етапу процесу. Кожна мікросхема розташована на пластині відповідно до виїмки, подібної до початкового меридіана. Ця геніальна конструкція дозволяє літографувати візерунки схем і розміщувати їх із виїмкою як базовою базою. Крім того, роботизовані руки покладаються на виїмку пластини, щоб розрізнити передню/задню сторону пластини та орієнтацію на високоавтоматизованій виробничій лінії, що значно запобігає пошкодженню пластин або помилкам процесу, спричиненим неправильною роботою. Якщо виїмка забруднена або пошкоджена, уся пластина може бути відхилена як невідповідна.

Виїмка на пластині також відіграє вирішальну роль у підвищенні продуктивності виробництва мікросхем. Оскільки краї пластин схильні до дефектів, таких як лінії ковзання та тріщини під час виробництва, точне позиціонування за допомогою виїмок дозволяє обладнанню точно уникнути цих дефектних ділянок, таким чином зменшуючи відходи. Сучасні виробничі лінії також використовують такі технології, як обертання пневматичної підвіски для операцій пошуку країв. Служачи маркером для безконтактного виявлення, виїмка на пластині не тільки запобігає забрудненню, спричиненому механічним контактом, але також покращує ефективність і точність ідентифікації.

Semicorex забезпечуєвисокоякісні вафлі. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com