Яка функція кілець фокусування?

Кільця фокусування є основними компонентами для забезпечення рівномірності та стабільності процесів травлення напівпровідників. Завдяки точному контролю електричних і теплових полів фокусні кільця можуть концентрувати плазму на поверхні пластини, забезпечуючи стабільні результати травлення в усіх місцях пластини.

Функції кілець фокусування

1. Покращення рівномірності травлення

У процесі травлення кільця фокусування можуть концентрувати плазму навафельнийповерхні, яка ефективно гарантує рівномірну щільність плазми, кут іонного бомбардування та рівні енергії як по краю пластини, так і по центру. Вони коригують розподіл електричного поля на краю пластини, зменшуючи швидкість травлення, критичні розміри та варіації морфології, викликані краєвими ефектами, таким чином забезпечуючи однорідність травлення по всій поверхні пластини. Якщо кільце фокусування надмірно зношене або фокусне кільце відсутнє, плазма буде дифундувати від краю пластини, зрештою спричиняючи невідповідні відхилення в ширині лінії між крайовими та центральними областями.

2. Захистіть електростатичний патрон

Кільця фокусування зазвичай встановлюються зовні поверхні пластини електростатичних патронів, що безпосередньо піддається плазмовому бомбардуванню та корозії. Ця установка слугує фізичним бар’єром для запобігання контакту плазми з електростатичними патронами під час процесу травлення, тим самим значно знижуючи ризик пошкодження плазмою. Кільця фокусування також можуть запобігти прилипанню побічних продуктів, що утворюються під час процесу травлення, до електростатичних патронів, таким чином уникаючи погіршення продуктивності, спричиненого забрудненням і засміченням патрона. Це значно подовжує цикл обслуговування та термін служби електростатичних патронів, зменшуючи витрати на обслуговування та заміну обладнання.

Кільця фокусування зазвичай виготовляються з матеріалів високої чистотикварц, кремнійікарбід кремніюматеріалів. Завдяки своїм чудовим комплексним характеристикам матеріали з карбіду кремнію поступово стають основним варіантом для найсучасніших процесів травлення. Як надійний постачальник напівпровідникових фокусних кілець у Китаї, Semicorex пропонує високу якістьфокусні кільця з карбіду кремніюрізних розмірів, щоб відповідати різним вимогам обладнання для травлення. Semicorex вітає ваші запити та покупки в будь-який час.