Що таке скляні пластини?

З розвитком напівпровідникових і оптичних технологій,скляні пластинияк новий тип скляних виробів, поступово стають доповненням до кремнієвих пластин, демонструючи великий потенціал у галузі високих технологій. Що таке скляні пластини? Скляні пластини — це високоефективні круглі тонкі пластини, які зазвичай виготовляються з кварцового скла, безлужного скла або скло-кремнієвих композитів. Завдяки чудовим фізичним і хімічним властивостям вони відіграють незамінну роль у передових галузях виробництва, таких як виробництво напівпровідників, оптика, MEMS, споживча електроніка, біомедицина та лабораторні дослідження.

Основні матеріали для скляних пластин

1. Дальнє ультрафіолетове кварцове скло

Далекий ультрафіолеткварцскло виготовляється за допомогою процесу хімічного осадження з парової фази, коли газоподібний тетрахлорид кремнію вступає в газофазну реакцію в оксиводневому полум’ї з утворенням аморфного діоксиду кремнію, який потім наноситься на кварцову підкладку для поступового зростання та формування. Цей матеріал містить велику кількість гідроксильних груп (950-1400 ppm), з невеликою загальною кількістю металевих домішок менше 0,2 ppm. Завдяки своїм чудовим властивостям, таким як антирадіаційні властивості, оптична однорідність і високий коефіцієнт пропускання ультрафіолетового випромінювання (особливо в дальній ультрафіолетовій області), кварцове скло дальнього ультрафіолетового випромінювання широко застосовується в області оптики дальнього ультрафіолетового випромінювання.

Однак широкомасштабне застосування кварцового скла в далекому ультрафіолеті певною мірою обмежене такими факторами, як смугасті дефекти, які легко утворити під час процесу підготовки, складність формування виробів великого розміру та складної форми та відносно висока вартість виробництва.

2. Ультрафіолетове оптичне кварцове скло:

Ультрафіолетове оптичне кварцове скло за допомогою процесу полум’яного плавлення виготовляється шляхом плавлення природного кристала за допомогою кисловодневого полум’я з подальшим осадженням на поверхні мішеней з плавленого кварцового скла. Ультрафіолетове оптичне кварцове скло з вмістом гідроксилу 150-400 ppm пропонує виняткові переваги, такі як високий коефіцієнт пропускання ультрафіолету, висока хімічна стабільність, хороша термічна стабільність і висока механічна міцність. Завдяки відпрацьованому виробничому процесу та високій економічній ефективності ультрафіолетове оптичне кварцове скло широко використовується в електронній та напівпровідниковій промисловості.

Однак ультрафіолетове оптичне кварцове скло має низьку оптичну однорідність і може містити мікроскопічні дефекти, такі як смужки та мікробульбашки, які можуть вплинути на якість оптичного зображення та стабільність пропускання лазера.

3.Інфрачервоне оптичне кварцове скло:

Інфрачервоне оптичне кварцове скло виготовляється шляхом плавлення кристалічного порошку за допомогою процесу вакуумного електроплавлення. Цей матеріал має низький вміст гідроксилу (<5 ppm), що забезпечує чудове інфрачервоне пропускання. Завдяки чудовому інфрачервоному пропусканню, добре хімічним властивостям, високій механічній міцності та зрілій технології виготовлення інфрачервоне оптичне кварцове скло широко використовується в інфрачервоній оптиці.

Однак інфрачервоне оптичне кварцове скло містить велику кількість металевих домішок і забезпечує відносно низький поріг пошкодження лазером, що робить його непридатним для лазерних застосувань із високою щільністю енергії та сценаріїв, які вимагають надзвичайно високого пропускання далекого ультрафіолетового світла.