Вакуумний патрон з пористого оксиду алюмінію

Вакуумний патрон з'єднується з вакуумним обладнанням за допомогою з'єднувальної трубки. Коли вакуумний патрон вступає в контакт із заготовкою, такою як пластина/тонкоплівковий матеріал, вакуумне обладнання починає працювати, створюючи негативний тиск усередині вакуумного патрона. Під атмосферним тиском заготовка міцно прилягає до вакуумного патрона, що дозволяє проводити обробку. Після завершення обробки вакуумне обладнання припиняє роботу і повільно наповнює вакуумний патрон газом, автоматично відокремлюючи заготовку від патрона. На цьому затискання, обробка та транспортування заготовки завершено.

Основна мета напівпровідникової фотолітографії — «надрукувати» мільярди схем транзисторів на пластині з нанометровою точністю. Суть «фотолітографії» полягає у використанні джерела світла для опромінення високосвітлочутливого фоторезиста, викликаючи хімічну реакцію, яка травить схему. Однак, коли джерело світла опромінює пластину, воно неминуче також світить на електростатичний патрон, який служить носієм пластини. Отримане відбите вторинне світло може заважати процесу фотолітографії, спричиняючи експозицію в небажаних областях і пошкоджуючи схему. Тому чорна поверхня вакуумного патрона мінімізує відбиття, забезпечуючи вимоги до точності системи фотолітографії. Завдяки цій здатності чорний оксид алюмінію можна широко використовувати не лише в електростатичних патронах, але й у сценаріях «подавлення світла». Початок ери штучного інтелекту забезпечив значний розвиток програм оптичного зв’язку, і чорні підкладки з оксиду алюмінію часто можна побачити в упаковці оптоелектронних пристроїв і світловипромінюючих елементів.

Чорна глиноземна керамікавиготовляється в основному з Al2O3 з додаванням оксидів перехідних металів як барвників і допоміжних речовин спікання, спікається при певній температурі. Барвник є вирішальним компонентом цього типу кераміки, що визначає її кінцевий колір. При виборі барвників для вакуумних патронів важливо переконатися в ступені кольору, механічній міцності, пористості та розмірі пор вакуумного патрона.

В даний час широко використовувані оксиди перехідних металів як барвники як усередині країни, так і за кордоном включають Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 і MnO2, причому Fe2O3, CoO, NiO і MnO2 є найбільш поширеними. Оскільки оксид алюмінію менш летючий при високих температурах, тоді як оксиди перехідних металів навпаки, їх леткість зростає з температурою. Ці оксиди під час високотемпературного спікання утворюють сполуки типу шпінелі, що знижує їх летючість. Тому, щоб придушити випаровування оксидів перехідних металів, слід вибрати відповідні умови процесу, щоб дозволити їм об'єднатися в сполуки типу шпінелі при нижчих температурах.

Semicorex пропонує звичаїпористий керамічний вакуумний патрон. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com