Загальні напівпровідникові кварцові компоненти та застосування

Кварц належить до тригональної кристалічної системи, яка є тривимірним каркасним мінеральним кристалом, що складається з діоксиду кремнію. Як правило, чистий кварц безбарвний і прозорий, але він набуває різноманітних відтінків в результаті слідових іонів пігменту, дрібнодисперсних включень або утворення центрів забарвлення. Маючи численні відмінні властивості, кварц широко використовується в різних процесах виробництва напівпровідників, і його продуктивність і якість безпосередньо впливають на продуктивність, продуктивність і вартість напівпровідникових пристроїв.

1. Кварцовий тигель

Theкварцові тиглівикористовуються для утримання сировини полікристалічного кремнію в процесі високотемпературного вирощування монокристалічного кремнію. Щоб забезпечити стабільність опорних матеріалів, кварцові тиглі повинні мати відмінну високотемпературну стабільність (температура плавлення >1700 ℃) і низький коефіцієнт теплового розширення, щоб витримувати складні умови експлуатації при високих температурах. Кварцові тиглі для застосування в напівпровідниках повинні бути виготовлені з кварцу високої чистоти класу 4N8 або вище. Цей мудрий вибір матеріалу може ефективно знизити ризики забруднення кристалів, спричинені випаданням домішок із кварцового тигля через високу температуру.

Труби кварцової печі зазвичай служать високотемпературними реакційними камерами для різних процесів виробництва пластин, таких як дифузія, окислення та хімічне осадження з парової фази (CVD). Отжекварцові топкові трубиповинні мати відмінну стійкість до високих температур, щоб запобігти їх деформації або розм'якшенню, спричиненому високотемпературним середовищем. У деяких процесах навіть потрібна обробка дегідроксилюванням, щоб зменшити вплив гідроксильних груп на термічну стабільність. Виробництво кварцових труб для печей також вимагає кварцового матеріалу високої чистоти з вмістом металевих домішок ≤1 ppm, щоб запобігти випаданню домішок під час реакції та впливати на результати обробки пластин.

Кварцові човни зазвичай використовуються в поєднанні з трубами кварцової печі для перенесення та транспортування від десятків до сотень пластин. томукварцові човнизазвичай повинні мати таку ж чудову стійкість до високих температур, стійкість до корозії та стабільну, надійну роботу з точки зору механічної міцності, як труби кварцової печі.

Кварцові фокусні кільцярозроблені спеціально для процесів сухого травлення. Зазвичай вони встановлюються навколо пластин для обмеження та гомогенізації плазми, ефективно забезпечуючи рівномірність швидкості травлення та візерунка на пластині. Це робоче середовище вимагає, щоб кварцові фокусні кільця мали високу стійкість до плазмової корозії, надзвичайно високу точність розмірів і гладку поверхню для запобігання аномальним розрядам або утворенню часток.