Конструктивні відмінності між різними типами реакторів

Залежно від конфігурації реакційної камери обладнання для термічної обробки (обладнання для труб печі) в основному поділяється на три категорії: труби для вертикальних печей, труби для горизонтальних печей і печі для швидкої термічної обробки (RTP).

Вертикальні труби печі мають вертикально розташовані кварцові трубки, навколо яких розміщені пластини для нагрівання. Їх головними перевагами є рівномірний розподіл температури, точний контроль атмосфери, висока автоматизація, менше забруднення частинками, невелика площа та підтримка пакетної обробки (особливо підходить для 12-дюймових пластин), що робить їх основним обладнанням, доступним на даний момент. Обсяг світового ринку сягнув 3,2 мільярда доларів у 2024 році (дані SEMI). До їхніх недоліків можна віднести легке розділення газу та рідини та низхідний потік середовища, що потенційно може спричинити перегорання труби печі.

Горизонтальні труби печі мають горизонтально розташовані кварцові труби, які обробляють 100-200 пластин за раз. До їх переваг можна віднести рівномірний газорідинний потік всередині топкової труби і більш точне регулювання температури. До їхніх недоліків належать більша площа та більша витрата проміжних трубних опор із високолегованої сталі. Конструктивно горизонтальні труби печі розміщують пластини вертикально в горизонтальних трубах для обробки.

Печі швидкого термічного відпалу (RTP) використовують галогенні інфрачервоні лампи для швидкого нагрівання окремих пластин, пропонуючи швидкі нагрівання та охолодження, що змінює лише температуру пластини без зміни температури камери. Вони підходять для дрібносерійного швидкого відпалу, але не для масового виробництва.

Під час обробки пластин горизонтальні труби печі поміщають пластину на кварцовий човен, який, у свою чергу, спирається на опорну раму з карбіду кремнію (SiC). Потім опорний каркас вставляється в трубу кварцової печі, де пластина проходить реакцію в зоні постійної температури. З іншого боку, вертикальні труби печі поміщають пластину на кварцову вежу та повільно піднімають її в трубу кварцової печі для обробки. Після реакції пластину повільно опускають, щоб запобігти згинанню або поломці.

Semicorex постачає високоякісний на замовленняреактор кварцової печі. Наші продукти створені для забезпечення чудової термічної стабільності, подовженого терміну служби та виняткової послідовності процесу. Щоб отримати індивідуальні рішення або отримати додаткову технічну інформацію, зв’яжіться з нашою командою інженерів.

Телефон: +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com