Що таке консольні весла?

Під час обробки напівпровідникових пластин використовуються спеціальні печі для нагрівання пластин. Ці печі містять подовжені циліндричні труби, де пластини розміщуються на вафельних човнах у заздалегідь визначених і рівновіддалених положеннях. Щоб гарантувати, що обладнання для обробки не витрачає пластини та витримує умови обробки всередині камери, пластини та інші пристрої, які використовуються для обробки пластин, виготовлені з таких матеріалів, як карбід кремнію (SiC).

Човни для вафель, завантажені партією вафель для обробки, розташовуються на довгих консольних лопатях. Ці лопаті можна вставляти в трубчасті печі та реактори та витягувати з них. Весла складаються зі сплощеної секції тримача, яка може утримувати один або кілька човнів, і довгої ручки, розташованої на одному кінці сплющеної секції тримача для зручного використання.

Для отримання найкращих компонентів при обробці напівпровідників рекомендується використовувати консольну лопатку з рекристалізованого карбіду кремнію з тонким шаром CVD SiC. Цей матеріал має високу чистоту і є найкращим вибором для таких компонентів.

Semicorex виготовляє індивідуальні консольні лопаті з високоякісним покриттям CVD SiC. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com