Покриття з карбіду танталу в напівпровідниковій промисловості

Розробка потужних синіх і ультрафіолетових світлодіодів дозволила створювати повнокольорові світлодіодні телевізійні дисплеї, а також білі світлодіоди для автомобільного та домашнього освітлення. Ці світлодіоди засновані на нітриді галію, який наноситься на пластини підкладки, що підтримується CVD SiC-покритим графітовим чутливим елементом за допомогою процесу MOCVD. Однак покриття SiC піддається впливу газу аміаку, який використовується в процесі, скорочуючи його термін служби. Щоб збільшити термін служби покриття та зменшити загальну вартість, промисловість потребує нового, більш інертного варіанту покриття. Карбід танталу розглядається як заміна, оскільки він може значно підвищити стійкість до цієї агресивної атмосфери та забезпечити рішення, яке зараз недоступне. Semicorex продає графітові деталі з CVD TaC-покриттям постачальникам напівпровідникової промисловості.

Наші графітові вироби з покриттям TaC відомі своєю чудовою термостійкістю порівняно з виробами з графіту з SiC. Як наслідок, вони широко використовуються в обробці напівпровідників, таких як епітаксійний процес пластин SiC, які використовуються при більш високих температурах. Попит на нашу продукцію зростає відповідно до зростання ринку.

Semicorex пропонує високоякісні графітові деталі з покриттям TaC з індивідуальним обслуговуванням. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com