Кварцові вироби в напівпровідникових додатках

У напівпровідниковій промисловості кварц широко використовується, а високочисті кварцові продукти є ще більш важливими витратними матеріалами у виробництві пластин. Виробництво кремнієвих монокристалічних тиглів, кришталевих човнів, труб із серцевиною дифузійної печі та інших кварцових компонентів має використовувати вироби з кварцового скла високої чистоти. Кварцові деталі в галузі напівпровідників, основні програми цільового ринку для дифузії та процесу травлення пластин у ливарному виробництві, можна розділити на дві категорії пристроїв високотемпературної зони та пристроїв низькотемпературної зони, які будуть використовувати такі основні пристрої:

1) Пристрої високотемпературної зони - це в основному дифузійне окислення та інші аспекти використання пічних труб, стелажів для скляних човнів тощо, які мають бути у високотемпературному середовищі, прямо чи опосередковано контактуючи з кремнієвою пластиною; в основному закупівля матеріалів з електроплавленого кварцового скла, виготовлених шляхом термічної обробки;

2) Пристрої для низькотемпературної зони - це в основному травильні ланки, такі як кварцові кільця, але також включають кошики для процесу очищення, баки для очищення тощо, які в основному використовуються в середовищах з низькою температурою; в основному закуповується кварцове скло для очищення газу шляхом виробництва холодної обробки

Серед них пристрої високотемпературної зони споживають швидше, але подібно до машини з кількома мікросхемами (носій для перенесення більше однієї пластини), пристрої з низькотемпературною зоною споживають повільніше, але монолітні (носій для перенесення пластини) ; отже, два загальні розміри ринку відносно близькі один до одного.