Що таке SiC Boat і які різні процеси його виробництва?

1. Різні виробничі процесиSiC човен

(1) Покриття шаромSiC плівкана поверхні графітукришталеві човникичерез ССЗ

Цей тип човна має графітовий сердечник, який оброблений цільним шматком. однак,графіт пористийі схильний до утворення часток, що вимагає застосування aПлівкове покриття SiCна його поверхні. Через невідповідність коефіцієнта теплового розширення (КТР) між графітовим тілом іSiC плівка, покриття може відшаровуватися після кількох циклів нагрівання та охолодження, що призведе до забруднення частинками. Ці човни є найдешевшими і мають термін служби близько одного року.

(2) Покриття шаромSiC плівкана перекристалКришталеві човни SiC

ПерекристалізованийSiC човнитакож є пористими і можуть легко генерувати частинки. Тому окремі компоненти перекристалізовуютьсяSiC човниповинні бути попередньо сформовані, спечені, а потім оброблені окремо. Після цього компоненти скріплюються між собою при високих температурах за допомогою кремнієвої пасти. Після того, як зібрано в один човен, aSiC плівказастосовується через CVD. Це перекристалізованоSiC човенмає найдовший процес виготовлення і дорогий, але поверхняCVD покриттятакож можуть бути пошкоджені, термін служби становить близько трьох років.

(3)МонолітнийКришталеві човни SiC

Цічовниповністю складаються з матеріалу SiC. Порошок SiC необхідно формувати та спекати у формі монолітного човна. Надзвичайно дорогі, вони дуже довговічні та менш схильні до утворення частинок. Однак ці човни містять 10-15% вільного кремнію, який чутливий до ерозії фтором і хлором, що призводить до забруднення частинками.

2. Чому не рекомендується хімчистка?

Підсумовуючи, дляSiC човнипокритий aПлівка SiC через CVD, поверхневе покриття під час хімчистки схильне до відшаровування, що спричиняє забруднення частинками. Для монолітнихSiC човниякі містять невелику кількість вільного кремнію, вплив газів, що містять фтор або хлор, може призвести до ерозії та утворення частинок, що призведе до забруднення.**