Що таке Dummy Wafer

Манекенвафельнийце спеціалізована пластина, яка використовується в основному для наповнення машинного обладнання під час процесу виробництва пластин. На відміну від виробничих вафель, фіктивні вафлі не призначені для продажу як готові продукти і зазвичай не використовуються у фактичному виробництві. Їх головне призначення — відповідати спеціальним експлуатаційним вимогам обладнання, підвищувати стабільність процесу, оптимізувати використання ресурсів і зменшити виробничі ризики. Таким чином, розробка та застосування фіктивних пластин є вирішальним компонентом управління виробництвом пластин (fab).

Ключові функції DummyВафлі

1. Місткість наповнювального обладнання: Певне виробниче обладнання, таке як труби для печей і травильники, потребує мінімальної кількості пластин під час роботи для підтримки стабільного повітряного потоку, температурних полів і середовища хімічної реакції. Якщо в обладнання поміщається менше виробничих пластин, стабільність продуктивності може бути порушена, що негативно вплине на якість процесу. Фіктивні вафлі використовуються для доповнення кількості вафель, забезпечуючи роботу обладнання з оптимальним навантаженням, подібно до того, як повністю завантажена піч забезпечує рівномірне нагрівання.

2. Захист виробничих пластин: у процесах високого ризику, таких як іонна імплантація, травлення та хімічне осадження з парової фази (CVD), на початкових стадіях може бути нестабільність або утворення часток. Безпосереднє використання виробничих пластин ризикує незворотною втратою врожаю. Фіктивні пластини служать запобіжним заходом, оцінюючи безпеку процесів перед введенням у виробництво пластин.

3. Рівномірний розподіл технологічних навантажень: під час обробки пластини всередині носіїв (як-от труби печі або камери травлення) мають бути рівномірно розподілені для забезпечення стабільних результатів. Наприклад, при фізичному осадженні з парової фази (PVD) асиметричне розміщення може негативно вплинути на швидкість осадження та однорідність товщини. Фіктивні пластини допомагають збалансувати макет, сприяючи стабільності та одноманітності протягом усього процесу.

4. Зменшення витрат на простої обладнання: Обладнання для виробництва пластин споживає значні ресурси під час запуску та зупинки. Тривалий простой через відсутність виробничих пластин може даремно витрачати ресурси та погіршувати продуктивність. Обробка фіктивних пластин підтримує роботу обладнання та його готовність до майбутнього виробництва.

5. Виконання перевірки обладнання та налагодження процесу: фіктивні пластини часто діють як носії перевірки обладнання. Після технічного обслуговування та очищення ці пластини використовуються для перевірки функціональності обладнання. Якщо виникнуть будь-які проблеми, коригування можна внести, не витрачаючи цінні виробничі пластини. Цей процес аналогічний використанню тестових шин на автомобілі перед заміною на дорогі серійні шини.

Підсумовуючи, DummyВафлівідіграють важливу роль у процесі виробництва пластин. Їх ефективне використання сприяє технічному обслуговуванню обладнання, налагодженню процесів, оптимізації ресурсів і загальній ефективності виробництва, допомагаючи зменшити витрати при одночасному підвищенні використання обладнання та стабільності процесу.