Чому обирають графітові токоприймачі з SiC-покриттям?

Графітовий токоприймачє однією з основних частин обладнання MOCVD, є носієм і нагрівачем підкладки пластини. Його властивості термічної стабільності та термічної однорідності відіграють вирішальну роль у якості епітаксійного росту пластини, що безпосередньо визначає однорідність і чистоту матеріалів шару, в результаті його якість безпосередньо впливає на підготовку епітаксії. Між тим, зі збільшенням кількості використань і зміною умов роботи, його дуже легко втратити, і він відноситься до витратних матеріалів. Чудова теплопровідність і стабільність графіту роблять його хорошою перевагоюбазовий компонент для обладнання MOCVD. Однак, якщо використовувати тільки чистий графіт, це зіткнеться з деякими проблемами. У процесі виробництва буде корозійний газ і металеві органічні залишки, а графітова основа буде роз’їдатися та відпадати від порошку, що значно скорочує термін служби пристрою.графітовий сусцептор, а випав графітовий порошок також спричинить забруднення чіпа, тому в процесі підготовки основи також потрібно вирішити ці проблеми під час підготовки основи. Технологія покриття може забезпечити поверхневу фіксацію порошку, підвищити теплопровідність і вирівняти розподіл тепла, що стає основною технологією вирішення цієї проблеми. Основна технологія вирішення цієї проблеми. Відповідно до середовища застосування та вимогграфітові приймачі, поверхневе покриття повинно мати такі характеристики.

Висока щільність і повне обгортання: графітова основа в цілому перебуває у високотемпературному корозійному робочому середовищі, поверхня повинна бути повністю загорнута, тоді як покриття повинно мати хорошу щільність, щоб відігравати хорошу захисну роль.

Хороша рівність поверхні: Оскільки графітова основа, яка використовується для вирощування монокристалів, вимагає дуже високої площинності поверхні, первісна площинність основи повинна підтримуватися після підготовки покриття, тобто поверхня покриття має бути однорідною.

Хороша міцність зв’язку: Зменшення різниці в коефіцієнті теплового розширення між графітовою основою та матеріалом покриття може ефективно покращити міцність зв’язку між ними, і покриття непросто тріснути після високих і низьких температурних циклів.

Висока теплопровідність: високоякісний ріст стружки вимагає швидкого та рівномірного нагрівання від графітової основи, тому матеріал покриття повинен мати високу теплопровідність.

Висока температура плавлення, високотемпературне окислення та стійкість до корозії: покриття має бути здатне стабільно працювати у високотемпературних та корозійних робочих середовищах.