Короткий вступ до фіктивних вафель

Сучасне виробництво напівпровідників складається з кількох етапів процесу, включаючи осадження тонкої плівки, фотолітографію, травлення, іонну імплантацію, хімічне механічне полірування. Під час цього процесу навіть незначні недоліки в процесі можуть негативно вплинути на продуктивність і надійність кінцевих напівпровідникових мікросхем. Тому підтримувати стабільність і узгодженість процесу, а також проводити ефективний моніторинг обладнання є серйозною проблемою. Фіктивні пластини є ключовими інструментами, які допомагають упоратися з цими проблемами.

Фіктивні пластини — це пластини, які не містять фактичних схем і не використовуються в кінцевому процесі виробництва мікросхем. Цівафліможуть бути абсолютно новими тестовими пластинами нижчого класу або відновленими пластинами. На відміну від дорогих пластин, які використовуються для виробництва інтегральних схем, вони зазвичай використовуються для різних невиробничих завдань, необхідних для виробництва напівпровідників.

Застосування фіктивних вафель

1.Кваліфікація та налаштування процесу

Фіктивні пластини зазвичай використовуються для тестування перед цими ситуаціями для забезпечення стабільності процесу та відповідності продуктивності обладнання, наприклад, перед введенням в експлуатацію нового технологічного обладнання, після технічного обслуговування або заміни компонентів існуючого обладнання та під час розробки нових рецептів процесу. Перевірка продуктивності обладнання та точне налаштування параметрів процесу можуть бути успішно завершені шляхом аналізу результатів обробки на фіктивних пластинах, що ефективно зменшує втрати продукту на пластинах і скорочує виробничі витрати для підприємств.

2. Кондиціонування та розминка обладнання

Середовище камери багатьох напівпровідникових технологічних пристроїв (наприклад, обладнання для хімічного осадження з парової фази (CVD), обладнання для фізичного осадження з парової фази (PVD) і машини для травлення) має значний вплив на результати обробки. Наприклад, стан покриття та розподіл температури на внутрішніх стінках камери повинні досягти стабільного стану. Фіктивні пластини часто використовуються для кондиціонування технологічних камер і стабілізації внутрішнього середовища (наприклад, температури, хімічної атмосфери та статусу поверхні) камер, що ефективно запобігає відхиленням процесу або дефектам у першій партії пластин продукту, спричиненим тим, що обладнання не працює в оптимальному стані.

3. Моніторинг часток і контроль забруднення

Виробництво напівпровідників має надзвичайно високі вимоги до чистоти; навіть дрібні частинки можуть призвести до поломки мікросхеми. Шляхом дослідження частинок, що прилипли до поверхні фіктивних пластин, що подаються в обладнання, можна оцінити чистоту обладнання. Таким чином, пластини продукту можна успішно захистити від забруднення шляхом оперативного виявлення можливих джерел забруднення та впровадження процедур очищення або обслуговування.

4. Заповнення щілин для однорідності партії

Щоб досягти потоку газу, розподілу температури та концентрації реагентів у технологічній камері, робота з повним навантаженням є звичайною практикою в обладнанні періодичної обробки, наприклад дифузійних печах, печах окислення або резервуарах для вологого очищення. Фіктивні пластини використовуються для заповнення порожніх прорізів у вафельному човні, які не мають достатньої кількості пластин для продукту, що може зменшити ефект країв і забезпечити узгоджені умови обробки для всіх пластин із продуктом, особливо для тих, що розташовані на краях вафельного човна.

5. Стабілізація процесів хіміко-механічного полірування (ХМП).

Фіктивні пластини також можна використовувати на етапі попередньої обробки процесу CMP для підтримки стабільності процесу. Попереднє тестування за допомогою фіктивних пластин оптимізує шорсткість і пористість полірувальної пластини, мінімізує невизначеність процесу під час фази стабілізації запуску або перехідної фази перед зупинкою, а також зменшує подряпини та дефекти пластин, спричинені ненормальною подачею суспензії та зносом діафрагми головки.

Semicorex пропонує економічно ефективніФіктивні пластини SiC. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com