Вафельний човен з карбіду кремнію

У виробництві напівпровідників окислення передбачає розміщення пластини у високотемпературному середовищі, де кисень тече по поверхні пластини, утворюючи оксидний шар. Це захищає пластину від хімічних домішок, запобігає потраплянню струму витоку в схему, запобігає дифузії під час іонної імплантації та запобігає ковзанню пластини під час травлення, утворюючи захисну плівку на поверхні пластини. Обладнання, що використовується на цьому етапі, є піч окислення. Основні компоненти реакційної камери включають вафельний човен, основу, труби вкладишів печі, внутрішні труби печі та теплоізоляційні перегородки. Через високу робочу температуру вимоги до продуктивності компонентів реакційної камери також є високими.

Theвафельний корабликвикористовується як носій для транспортування та обробки пластин. Він повинен мати такі переваги, як висока інтеграція, висока надійність, антистатичні властивості, стійкість до високих температур, зносостійкість, стійкість до деформації, хороша стабільність і тривалий термін служби. Оскільки температура окислення пластин становить приблизно від 800 ℃ до 1300 ℃, а вимоги до вмісту металевих домішок у навколишньому середовищі надзвичайно суворі, ключові компоненти, такі як вафельний човен, повинні не тільки мати відмінні термічні, механічні та хімічні властивості, але також мати надзвичайно низький вміст металевих домішок. Залежно від підкладки їх можна розділити на кварцові вафельні човни, керамічні вафельні човни з карбіду кремнію тощо. Однак із розвитком технологічних вузлів нижче 7 нм і розширенням високотемпературних технологічних вікон традиційні кварцові човни поступово стають неадекватними з точки зору термічної стабільності, контролю частинок і управління терміном служби. Човни з карбіду кремнію (SiC) поступово витісняють традиційні кварцові рішення.

1. Виробництво напівпровідників

У високотемпературних процесах виробництва чіпів, таких як окислення, дифузія, хімічне осадження з парової фази (CVD) та іонна імплантація, SiC човни використовуються для підтримки кремнієвих пластин, гарантуючи, що пластини залишаються плоскими при високих температурах і запобігають зсуву або деформації решітки, спричиненій термічною напругою, таким чином гарантуючи точність і продуктивність чіпа.

2. Фотоелектрична промисловість

Кераміка з карбіду кремнію має чудову механічну міцність, термічну стабільність, стійкість до високих температур, стійкість до окислення, термічного удару та стійкість до хімічної корозії, і широко використовується в таких популярних галузях, як металургія, машинобудування, нова енергетика та хімікати для будівельних матеріалів. Його продуктивності також достатньо для теплових процесів у фотоелектричному виробництві, таких як дифузія, LPCVD (хімічне осадження з парової фази при низькому тиску) і PECVD (плазмохімічне осадження з парової фази) для елементів TOPcon. Порівняно з традиційними кварцовими матеріалами керамічні матеріали з карбіду кремнію, які використовуються для виготовлення опор для човнів, невеликих човнів і трубчастих виробів, мають вищу міцність, кращу термічну стабільність і не деформуються під дією високих температур. Їхній термін служби також більш ніж у п’ять разів перевищує термін служби кварцу, що значно знижує експлуатаційні витрати та втрати енергії через простої на технічне обслуговування. Це призводить до явної переваги в ціні, а сировина є широкодоступною.

3. Напівпровідникова промисловість третього покоління

У реакційних камерах для металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD) човни з карбіду кремнію використовуються для підтримки сапфірових підкладок, стійких до корозійних газових середовищ, таких як аміак (NH3), підтримки епітаксійного росту напівпровідникових матеріалів третього покоління, таких як нітрид галію (GaN), і покращення світлової ефективності та продуктивності світлодіодних мікросхем. При вирощуванні монокристалів карбіду кремнію човни з карбіду кремнію служать опорами для затравкових кристалів у печах для вирощування монокристалів карбіду кремнію, витримуючи високотемпературне корозійне середовище розплавленого кремнію, забезпечуючи стабільну підтримку росту монокристалів карбіду кремнію та сприяючи отриманню високоякісних монокристалів карбіду кремнію.

Semicorex постачає високоякісну кераміку SiCвафельні кораблики. Наші продукти створені для забезпечення чудової термічної стабільності, подовженого терміну служби та виняткової послідовності процесу. Щоб отримати індивідуальні рішення або отримати додаткову технічну інформацію, зв’яжіться з нашою командою інженерів.

Телефон: +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com