Розробка 3C-SiC, значного політипу карбіду кремнію, відображає безперервний прогрес науки про напівпровідники. У 1980-х роках Nishino та ін. вперше досяг плівки 3C-SiC товщиною 4 мкм на кремнієвій підкладці за допомогою хімічного осадження з парової фази (CVD)[1], заклавши основу для технології тонк......
ДетальнішеТовсті шари карбіду кремнію (SiC) високої чистоти, які зазвичай перевищують 1 мм, є критично важливими компонентами в різних дорогоцінних застосуваннях, включаючи виготовлення напівпровідників та аерокосмічні технології. У цій статті розглядається процес хімічного осадження з парової фази (CVD) для ......
ДетальнішеМонокристалічний і полікристалічний кремній мають свої унікальні переваги та сценарії застосування. Монокристалічний кремній підходить для високопродуктивних електронних виробів і мікроелектроніки завдяки своїм відмінним електричним і механічним властивостям. Полікристалічний кремній, з іншого боку,......
ДетальнішеУ процесі підготовки пластин є дві основні ланки: одна – підготовка підкладки, друга – здійснення епітаксійного процесу. Підкладку, пластину, ретельно виготовлену з напівпровідникового монокристалічного матеріалу, можна безпосередньо ввести в процес виробництва пластини як основу для виробництва нап......
ДетальнішеХімічне осадження з парової фази (CVD) — це універсальний метод осадження тонких плівок, який широко використовується в напівпровідниковій промисловості для виготовлення високоякісних конформних тонких плівок на різних підкладках. Цей процес включає хімічні реакції газоподібних прекурсорів на нагріт......
ДетальнішеКремнієвий матеріал — це твердий матеріал із певними напівпровідниковими електричними властивостями та фізичною стабільністю, який забезпечує підтримку підкладки для подальшого процесу виготовлення інтегральної схеми. Це ключовий матеріал для інтегральних схем на основі кремнію. Більше 95% напівпров......
Детальніше