Силіконовий карбідний вафельний човен

За кожним високотемпературним процесом у виробництві вафель лежить безшумний, але вирішальний гравець: вафельний човен. Оскільки основним носієм, який безпосередньо контактує з кремнієвою вафелем під час обробки вафель, його матеріал, стабільність та чистота безпосередньо пов'язані з кінцевим урожайністю мікросхеми та стабільністю процесу. Серед різних матеріалів -перевізників,карбід кремнію (sic)Човни поступово замінюють традиційні кварцові рішення, стаючи кращим рішенням для розширених процесів та обладнання високого класу.

Чому човни SIC вафель?

З просуванням технологічних вузлів нижче 7 нм та розширенням високотемпературних вікон процесів, традиційні кварцові вафельні човни все частіше борються з точки зору термічної стійкості, контролю частинок та управління терміном експлуатації.

Однак вафельні човни карбіду кремнію поступово набирають популярність через такі переваги:

1. Стало при високих температурах:

Вони пропонують довгострокові робочі температури 1350-1600 ° C, легко обробляючи основні процеси, такі як ССЗ, дифузія та відпал. Навіть короткий вплив температур 1800 ° C не демонструє пом'якшення та деформації, що робить їх придатними для обладнання вищого класу, такого як монокристалічні карбідні печі.

2. Давне розширення та висока стабільність теплового удару:

При низькому коефіцієнті теплового розширення вони можуть протистояти швидкому підвищенню температури та зменшується, мінімізуючи структурні розтріскування, спричинені тепловим напруженням. Вони підтримують відмінну морфологію та продуктивність у високотемпературних, складних атмосферах (таких як водень, азот, аміак та фториди).

3. Клінська поверхня та надзвичайно низьке забруднення:

Висока чистота матеріалу з мінімальними металевими домішками. Низька шорсткість поверхні, запобігання вторинному забрудненню кремнієвих вафель; Відмінний контроль шорсткості поверхні, з РА нижче 0,1 мкм, пригнічує проливання частинок і відповідає чистим потребам передових процесів;

4. цільне ліплення, точні конструкції вафельних човнів можуть бути безпосередньо утворені через вільні3D -друк, усуваючи потребу в формах, значно підвищуючи ефективність налаштування; У поєднанні з п’яти-осі обробкою та технологією різання дроту, зуби човна не містять бурхливих, запобігаючи подряпинам на вафлях та забезпечуючи плавне автоматизоване поводження;

5. Висока сила і довге життя: 

Один човен може похвалитися високою навантажувальною силою і може одночасно підтримувати десятки до сотень 12-дюймових вафель. Порівняно з традиційними кварцовими човнами, середня тривалість життя човна в 5-10 разів довша, зменшуючи частоту перемикання обладнання та загальну вартість власності.

Сценарій застосування

Широка пристосованістьСиліконові вафельні човниРозширює їх застосування за межі напівпровідникового поля до різних високотемпературних процесів процесів, включаючи нові енергетичні матеріали, виробництво світлодіодних виробів та дослідження ядерної енергії.

Напівпровідникова промисловість

Він підходить для ключових процесів, таких як окислення, дифузія, осадження ССЗ та іонна імплантація, що робить його незамінним високотемпературним носієм для ліній процесу суб-7 НМ.

Фотоелектрична промисловість

У нових технологіях акумуляторів, таких як Topcon та HJT, вафельні човни використовуються у високотемпературних процесах печі, таких як LPCVD та відпал, допомагаючи підвищити енергоефективність та коефіцієнт конверсії.

Напівпровідники третього покоління

Для процесів росту GAN та SIC в світлодіодах вони підтримують субстрати карбіду сапфіру або кремнію. Вони витримують корозійні гази, такі як NH₃ та HCL, підтримуючи виготовлення високочастотних пристроїв.

Нові енергетичні матеріали та високотемпературна платформа

Підтримує реакцію спікання катодних матеріалів літію батареї та теплову обробку матеріалів ядерної промисловості, поєднуючи теплостійкість, корозійну стійкість та чистоту.

Semicorex пропонує високу чистотуІндивідуальні вафельні човни SIC. Якщо у вас є якісь запити або потрібні додаткові деталі, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Зверніться до телефону # +86-13567891907

Електронна пошта: sales@semicorex.com