Що таке дифузійна піч?

Дифузійна піч — це спеціальне обладнання, яке використовується для контрольованого введення домішок у напівпровідникові пластини. Ці домішки, звані допантами, змінюють електричні властивості напівпровідників, дозволяючи виготовляти різні типи електронних компонентів. Цей контрольований процес дифузії має вирішальне значення для виробництва транзисторів, діодів та інтегральних схем.

Дифузійні печі складаються з кількох ключових компонентів, включаючи технологічні труби, нагрівальні елементи, механізми забору повітря та системи керування. Технологічна труба діє як камера, куди поміщається пластина. Він може витримувати високі температури та корозійні гази, що робить його ідеальним матеріалом для цього застосування.

Нагрівальні елементи забезпечують необхідне тепло для підвищення температури печі до потрібного рівня. Температура в дифузійних печах зазвичай сягає 1200°C. Щоб забезпечити рівномірний нагрів, нагрівальні елементи часто розташовують у формі спіралі.

Механізм входу газу використовується для введення легуючого газу в піч. Звичайні легуючі добавки включають бор, фосфор і миш'як, залежно від бажаних електричних властивостей кінцевого напівпровідникового продукту. Система контролю регулює потік легуючого газу, зберігаючи точний контроль над процесом дифузії.

Дифузійні печі широко використовуються в напівпровідниковій промисловості. Вони використовуються в процесі легування, що створює pn-переходи в транзисторах і діодах. Дифузійні печі також відіграють важливу роль у виготовленні інтегральних схем, де кілька шарів різних напівпровідників укладаються та з’єднуються між собою.

Крім того, дифузійні печі необхідні для виготовлення передових напівпровідникових пристроїв, таких як силові MOSFET (металооксидні напівпровідникові польові транзистори) і біполярні транзистори з ізольованим затвором (IGBT). Ці пристрої настільки важливі в силовій електроніці та технології відновлюваної енергії, що дифузійні печі є невід’ємною частиною їх виробництва.

Дифузійні печі є критично важливими інструментами у виробництві напівпровідників, що дозволяють контрольовано вводити легуючі добавки в напівпровідникові пластини. Ці печі є невід'ємною частиною виробництва різних напівпровідникових приладів, таких як транзистори, діоди та інтегральні схеми. У міру розвитку технологій можливості дифузійних печей продовжують збільшуватися, дозволяючи більш точні та надійні виробничі процеси. Напівпровідникова промисловість значною мірою покладається на ці печі, щоб задовольнити зростаючий попит на передове електронне обладнання.

Semicorex виготовляє індивідуальні деталі SiC для дифузійних печей. Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com