Покриття TaC методом CVD

Покриття з карбіду танталу є важливим високоміцним, стійким до корозії та хімічно стабільним високотемпературним конструкційним матеріалом з температурою плавлення до 4273 °C, одним із кількох сполук із найвищою термостійкістю. Він має чудові високотемпературні механічні властивості, стійкість до високошвидкісного повітряного потоку, стійкість до абляції та хорошу хімічну та механічну сумісність із графітом і вуглець/вуглецевими композитами. Таким чином, у епітаксіальному процесі GaN світлодіодів і SiC силових пристроїв, таких як MOCVD, покриття TaC має чудову кислотну та лужну стійкість до H2, HCl, NH3, що може повністю захистити матеріал графітової підкладки та очистити середовище росту.

Покриття TaC залишається стабільним при температурах вище 2000 °C, тоді як покриття SiC починає розкладатися при 1200-1400 °C, що також значно покращить цілісність графітової підкладки. Покриття з карбіду танталу в даний час отримують на графітових підкладках в основному за допомогою CVD, а виробничі потужності покриттів TaC будуть додатково збільшені, щоб задовольнити попит на силові пристрої SiC та епітаксійні пристрої GaNLED.

Система хімічної реакції, яка використовується для нанесення покриттів з карбіду танталу на вуглецеві матеріали за допомогою хімічного осадження з парової фази (CVD), це TaCl5, C3H6, H2 і Ar, де Ar використовується як газ, що розбавляє та переносить.

Покриття з карбіду танталу відіграють ключову роль у епітаксійному процесі GaN світлодіодів і силових пристроїв із SiC з використанням MOCVD. Удосконалені матеріали захищають життєво важливі компоненти, забезпечуючи їх довговічність і ефективність у суворих умовах, пов’язаних із виробництвом високотемпературних напівпровідників.

Оскільки попит на пристрої живлення з SiC і світлодіоди GaN продовжує зростати, виробничі потужності покриттів з карбіду танталу будуть розширюватися. Виробники готові задовольнити зростаючі вимоги цих галузей, сприяючи розвитку високотемпературних технологій.

На закінчення,покриття з карбіду танталуявляють собою неймовірний технологічний стрибок у забезпеченні довговічності та надійності матеріалів у високотемпературному середовищі. Оскільки ці покриття продовжують революціонізувати сектори напівпровідників і силової електроніки, вони підкреслюють свій статус критичного елемента сучасних високотехнологічних досягнень.