Промисловість карбіду кремнію

Промисловість карбіду кремнію включає ланцюжок процесів, які включають створення підкладки, епітаксійне зростання, проектування пристрою, виготовлення пристрою, пакування та тестування. Загалом, карбід кремнію виготовляють у вигляді зливків, які потім нарізають, шліфують і полірують для отриманняпідкладка з карбіду кремнію. Субстрат проходить через процес епітаксіального росту для отриманняепітаксіальна пластина. Потім епітаксіальна пластина використовується для створення пристрою за допомогою різних етапів, таких як фотолітографія, травлення, іонна імплантація та осадження. Для отримання пристроїв пластини розрізають на матриці та інкапсулюють. Нарешті пристрої об’єднуються та збираються в модулі в спеціальному корпусі.

Цінність промислового ланцюга карбіду кремнію в основному зосереджена на передній підкладці та епітаксіальних ланках. Згідно з даними CASA, на підкладку припадає приблизно 47% вартості пристроїв з карбіду кремнію, а на епітаксіальне з’єднання – 23%. Вартість до виготовлення становить 70% від загальної вартості. З іншого боку, для пристроїв на основі кремнію виробництво пластини становить 50% вартості, а підкладка для пластини становить лише 7% вартості. Це підкреслює цінність передньої підкладки та епітаксіальних зв’язків для пристроїв з карбіду кремнію.

Незважаючи на те, щопідкладка з карбіду кремніюіепітаксійнийЦіни порівняно високі порівняно з кремнієвою пластиною, висока ефективність, висока питома потужність та інші характеристики пристроїв з карбіду кремнію роблять їх привабливими для різних галузей промисловості, включаючи транспортні засоби нових джерел енергії, енергетику та промисловість. Тому очікується, що попит на пристрої з карбіду кремнію швидко зросте, що сприятиме проникненню карбіду кремнію в різні сфери.