Структура електростатичного патрона (ESC)

АнЕлектростатичний патрон (ESC)це пристрій, який використовується для утримання напівпровідникових пластин під час таких процесів, як травлення, осадження або полірування. Він працює, створюючи електростатичне поле, щоб притягувати та надійно утримувати пластину на поверхні патрона, забезпечуючи стабільність і точне вирівнювання під час роботи з пластиною. ESC широко використовуються у виробництві напівпровідників для підвищення точності процесу та ефективності роботи з пластинами.

Фактичний образ умовнийелектростатичний патрон (ESC)зображено на малюнку. Основна відмінність моделей полягає в матеріалі ізоляційного шару на поверхні електростатичного патрона. На малюнку темний колір позначає нітрид алюмінію, а білий — оксид алюмінію. Структура велектростатичний патронскладається з кількох частин:

1. **Ізоляційний шар**: цей шар контактує з пластиною, яка зазвичай виготовляється з кераміки з нітриду або оксиду алюмінію завдяки їхній чудовій механічній міцності, стійкості до високих температур і хорошій теплопровідності.

2. **Виштовхувальний штифт і газовий отвір**: Виштовхувальний штифт призначений для перенесення пластини. Коли пластина потрапляє в камеру травлення, виштовхувальний штифт піднімається, щоб підтримувати її, а потім опускається, щоб помістити пластину на поверхню електростатичного патрона. Виштовхувальний штифт зазвичай має порожнисту структуру, що дозволяє вводити газоподібний гелій для охолодження пластини.

3. **Канал зворотного потоку**: Цей компонент покращує розсіювання тепла та полегшує адсорбцію пластини.

4. **Електростатичний електрод**: цей електрод створює електричне поле, яке створює електростатичну силу, необхідну для утримання пластини на місці. Як правило, електрод є плоским і або вбудований в ізоляційний матеріал, або насаджений на нього. Зазвичай використовувані провідні матеріали включають алюміній, мідь і вольфрам.

5. **Циркуляція охолоджувальної води та нагрівальний електрод**: ці елементи головним чином відповідають за загальний контроль температури електростатичного патрона. Нагрівальний електрод і циркулююча охолоджуюча вода працюють у тандемі, щоб підтримувати стабільну температуру для пластини. Якщо покладатися виключно на циркулюючу охолоджуючу воду, це може призвести до неможливості керувати теплом, що виділяється під час процесу травлення, що потенційно може поставити під загрозу стабільність процесу.  

Semicorex пропонує високу якістьЕлектростатичний патрон (ESC). Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.

Контактний телефон +86-13567891907

Електронна адреса: sales@semicorex.com