Що таке SOI

Кремній на ізоляторі (SOI) визнано одним із рішень для заміни існуючих монокристалічних кремнієвих матеріалів в епоху нанотехнологій і є основним інструментом для підтримки закону Мура. Кремній на ізоляторі, технологія підкладки, яка замінює традиційний об’ємний кремній підкладки на «сконструйовану» підкладку, використовується вже більше 30 років у спеціалізованих програмах, таких як військові та космічні електронні системи, де SOI має унікальні переваги завдяки чудовій якості. радіаційна стійкість і швидкісні характеристики.

Матеріали КНІ є основою для розвитку технології КНІ, а розвиток технології КНІ залежить від постійного вдосконалення матеріалів КНІ. Відсутність недорогих високоякісних матеріалів для КНІ була основною перешкодою для впровадження технології КНІ у великомасштабне промислове виробництво. В останні роки, із зрілістю технології підготовки матеріалу КНІ, проблема матеріалу, яка обмежує розвиток технології КНІ, поступово вирішується, що в кінцевому підсумку включає два типи технології підготовки матеріалу КНІ, а саме імплантацію Speration за допомогою кисню (SIMOX) і технологія склеювання. Технологія склеювання включає традиційну технологію Bond and Etch Back (BESOI) і технологію Smart-cut, що поєднує введення іонів водню та склеювання, запропоновану М. Брюелем, одним із засновників SOITEC у Франції, а також технологію підготовки матеріалу Simbond SOI, що поєднує киснева ізоляція та зв’язування, запропоновані доктором Мен Ченом у 2005 році. Нова технологія поєднує кисневу ізоляцію та зв’язування.