Знання консольного весла

Під час обробки напівпровідникові пластини зазвичай потрібно нагрівати в спеціальній печі. Такі печі зазвичай складаються з довгих тонких циліндричних труб. Пластини розташовуються в печі та реакторі таким чином, що вони розташовані вздовж площини, визначеної круглим поперечним перерізом печі або реактора, і рознесені одна від одної в заздалегідь визначених, зазвичай рівновіддалених точках уздовж центральної осі печі або реактора. піч або реактор. Щоб досягти такого позиціонування, пластини зазвичай розміщують на тримачах із прорізами, які називаються вафельними човниками, які розміщують пластини в рознесеній конфігурації, вирівняній уздовж центральної осі.

Невеликі човни, що містять партії пластин для обробки, розміщуються на довгих консольних лопатях, через які трубчасті печі та реактори можна вставляти та знімати. Такі весла зазвичай містять плоску опорну секцію, на якій можна розмістити один або більше невеликих човнів, і довгу ручку, розташовану на одному кінці плоскої опорної секції, за допомогою якої можна керувати веслами. Перехідна частина зазвичай утворюється між ручкою та несучою частиною, щоб зробити їх єдиним цілим. Крім того, ручка повинна виходити з печі або реактора, щоб нею та вафельним човником можна було маніпулювати.

Розташування контейнера для пластин у печі чи реакторі є важливим, оскільки бажано розташувати центр кожної пластини якомога ближче до центральної осі печі чи реактора для досягнення однакових умов обробки, яким піддаються пластини. Таким чином, вигин лопаті, викликаний вагою корабля, що перевозить пластини, повинен бути врахований у конструкції лопаті, особливо тому, що лопатя підтримується лише на одному кінці, тобто на кінці, який виступає з камери печі. На додаток до врахування конструкції весла, що випливає з вимог до робочої ваги, також необхідно використовувати набір затискачів, призначених для точного утримання подовженого кінця весла в потрібному положенні. Ці затискачі мають бути достатньо міцними, щоб утримувати весло в потрібному положенні, але бути простими у використанні та мінімізувати можливість пошкодження весла під час затискання.

Тому була потрібна консольна лопатка, яку можна було б використовувати з більшим навантаженням, залишаючись при цьому сумісною з існуючими затискними системами. Також була потреба в консольному веслі, яке демонструвало б прийнятні характеристики відхилення у всьому діапазоні вагових навантажень, з якими воно могло б використовуватися.

cантиважільна пластина рекомендована для використання рекристалізованого карбіду кремнію з тонким шаром CVD SiC, який є високою чистотою та найкращим вибором для компонентів у обробці напівпровідників.

Semicorex може забезпечитивисока якістьконсольні веслаііндивідуальні послуги відповідно до креслень та робочого середовища.