Робототехнічна зброя Bernoulli

Роботизовані руки в основному застосовуються у початкових процесах виробництва напівпровідників, таких як фотолітографія та травлення, де вони безпосередньо беруть участь у обробці, передачі та позиціонуванні напівпровідникових пластин. НапівкорексглиноземРоботи Bernoulli — це керамічні кінцеві механізми, які забезпечують адсорбцію та перенесення пластин на основі принципу Бернуллі, забезпечуючи виняткову продуктивність у чистоті, стабільності, точності, ефективності та надійності.

Безконтактна адсорбція

Роботи Bernoulli із глинозему Semicorex можуть досягти надійної та стабільної безконтактної адсорбції пластин, використовуючи їх спеціально розроблену конфігурацію та систему повітряного потоку. Цей безконтактний метод роботи може уникнути прямого контакту з напівпровідниковими пластинами та значною мірою запобігти забрудненню пластини або пошкодженню, спричиненому фізичним контактом, що особливо підходить для ультрачистих умов роботи та делікатного перенесення пластин.

Надійні фізичні та хімічні характеристики

Глиноземна кераміка має чудову твердість і міцність, що робить Semicorex глинозем Бернулліроботизовані рукидобре підходить для тривалої роботи з напівпровідниковими пластинами без деформації та пошкодження.

Роботизовані манжети Bernoulli з глинозему Semicorex також забезпечують надійну стійкість до хімічної корозії та можуть витримувати складні корозійні гази та плазмові робочі середовища, демонструючи постійну довговічність протягом тривалого періоду часу.

Суворий контроль за чистотою

Роботи Bernoulli з оксиду алюмінію Semicorex виготовляються з високочистого порошку оксиду алюмінію шляхом точного ізостатичного пресування та високотемпературного спікання. Такий точний вибір матеріалу та метод обробки дозволяють роботам Semicorex alumina Bernoulli мати чисту та щільну керамічну структуру. Це значно знижує ризики забруднення пластин, викликані небажаними домішками в умовах експлуатації.

Висока точність керування

Роботи Bernoulli Semicorex з оксиду алюмінію, оброблені за допомогою точного шліфування та полірування, забезпечують виняткову точність розмірів і чудову площинність поверхні, що робить їх дуже придатними для високоточного автоматизованого виробництва напівпровідників. Крім того, роботизовані манжети Bernoulli з оксиду алюмінію Semicorex мають чудову термічну стабільність, навіть коли вони піддаються впливу середовищ із сильними температурними коливаннями, вони можуть підтримувати відмінне повторюване позиціонування та точність керування.