Керамічна рука з глиноземи

Керамічна рука ALUMINE SEMICOREX - це інженерний компонент, який розробляється за найвищими специфікаціями для напівпровідникових застосувань. Зроблений з глинозему високої чистоти (Al₂o₃), це робототехнічна рука, яка має унікальну комбінацію механічної міцності, термічної стійкості та хімічної стійкості. Рука не лише розроблена для використання лише для обробки вафель, але й повинна забезпечити підтримку процесу в передових сайтах виготовлення. Він також повинен забезпечити передачу, розміщення та обробку вафель без зараження або пошкоджень; Поліпшення врожайності та надійності процесу.

Глиноземє однією з технічної кераміки, яка знаходить найширше використання в технічній керамічній галузі. Алюміній відомий своєю твердістю, стійкістю до зносу та стабільністю в агресивних умовах. Для цілей керамічної руки для управління вафлями без введення забруднення вона може використовувати властивості глинозему та забезпечити набагато більший рівень стійкості до стирання як наслідок її високої чистоти та розміру частинок; Тому він не генеруватиме надмірні частинки під час повторних рухів, ні з вафлями, ні з напівпровідниковими субстратами будь -якого іншого виду.  Щільність та низька пористість, яку він також розміщує подальше, обмежує потенціал частинок, що вивільняються, і гарантує, що вона відповідає надзвичайно чистим вимогам розробки напівпровідників, не погіршуючи чистоту, необхідну для обробки субмікронних пристроїв.

Глиноземволодіє винятковою тепловою стійкістю на додаток до його механічної міцності. Керамічна рука з глинозему може пережити екстремальні температури процесу без викривлення, розтріскування або втрачання сили. Ця властивість робить його ідеальним для включення в будь -який крок процесу, який включає вплив підвищених температур, таких як дифузія, окислення або відпалення кроків. Ваферс призведе до підвищення надійності для передачі у складному процесі процесу, оскільки він зберігає механічну цілісність при термічному циклічному русі.

Хімічна стійкість - ще один фундаментальний позитив керамічної руки з глинозему. У виробництві напівпровідників обробки часто проводяться на вафлях, які включають сильні кислоти, луги та інші агресивні хімічні речовини. Незважаючи на те, що металеві компоненти можуть роз’їхати або вилуговувати домішки, глинозем є хімічно інертним, що захищає цілісність як руки, так і вафель, до яких вона обробляє. Тому інертність продовжує термін експлуатації компонента, зменшуючи можливість забруднення під час критичних етапів процесів, таких як вологе очищення або хімічне осадження пари.

Керамічна рука глинозему розроблена з акцентом на сумісність та точність. Кожна рука зроблена для жорстких розмірних допусків, забезпечуючи точне вирівнювання та руху вафель та сумісність з автоматизованим обладнанням для обробки вафель та робототехнічними системами. Гладка, відшліфована обробка поверхні має низький інтерфейс тертя з вафелькою, що зменшує шанс подряпати пластину, що має важливе значення для цілісності вафель/екологічної чистоти та зниження швидкості дефектів. Ці інженерні допуски гарантують, що ARM вільно працює в швидкоплинному середовищі з високою пропускною здатністю і дозволяє як людини, так і повністю автоматизованому напівпровідникові робочі процеси для руки.

Керамічна рука глинозему виходить за рамки лише хімічних та механічних показників та впливає на ефективність роботи та економію витрат на декількох рівнях. Перевірений міцний характер кераміки дозволяє руці перевершити композитні матеріали, такі як пластмас або алюміній з точки зору довговічності проектування при повторному механічному завантаженні, і тому зменшує кількість експлуатаційних простоїв та/або витрат на заміну. Можливість протистояти суворим середовищам включає чистоту навколишнього середовища, а також виробляючи менше виробничих перебоїв, що призводять до поліпшення послідовного виробництва вафельних виробів, тобто врожайності та в кінцевому рахунку менше брухту, що призводить до більш високої рентабельності інвестицій (рентабельність інвестицій) для виробників напівпровідників.

Варіанти використанняКераміка глиноземуРука для напівпровідникових процесів практично нескінченна - від рухомих пластин між мокрими лавками, дифузійними печами та камерами осадження до огляду та метрологічних інструментів, що використовують субстрати. Універсальність цього продукту не тільки дозволяє використовувати його для додатків для обробки вафель, але й подальші ситуації з автоматизації, коли необхідна точність, чистота та надійність. Напівпровідникова промисловість невблаганно рухається до менших вузлів та збільшення складності в рамках виготовлення пристроїв, і оскільки галузь продовжує вимагати кращого поводження з рішеннями, які є надійними та не обмежуючими, керамічна робототехнічна рука створює чіткий шлях вперед.