Керамічний кінцевий ефектор

Керамічний кінцевий ефектор Semicorex Alumina є важливим інструментом в автоматизованих системах передачі вафель, що пропонує неперевершену механічну міцність, термічну стійкість та хімічну стійкість. Виготовлений за допомогою високої чистотиглинозем (al₂o₃) кераміка, цей кінцевий ефектор розроблений для задоволення суворих вимог середовищ обробки вафель, де точність, чистота та довговічність є першорядними.

Напівпровідникові руки роботи - одна з важливих частин напівпровідникового обладнання. Зазвичай вони складаються з контролерів, водіїв, рук та кінцевих ефекторів. Вони характеризуються високою чистотою, високою стабільністю, високою точністю, високою ефективністю та високою надійністю. Напівпровідникові роботи в основному використовуються в процесі фронту виробництва напівпровідників для перевезення, транспорту та положення напівпровідникових пластин.

Керамічна структура, що має вміст глинозему, як правило, більше 99,5%, забезпечить чудову твердість та стійкість до зносу для повторних рухів у високоточних умовах без деградації з часом. Висока теплопровідність та низьке теплове розширення глинозему забезпечують розмірну стабільність у середовищах з підвищеною температурою, необхідність у більшості операцій з чистоти в напівпровідниках, наприклад, в інструменті Etcher, Destraiter, інспекції чи очищення.

ЗКераміка глиноземуКінцевий ефектор має помітну характерну обробку поверхні, яка є гладкою і має низьку пористість, що робить його поблизу нульових частинок, що утворюються, і мінімізація або нульовий вплив на забруднення під час обробки вафель. Крім того, глинозем хімічно інертний. Це означає, що він не реагуватиме з будь -яким із процесів процесів та будь -якими процесами, з якими пластина контактує. Це захищає вафлі та будь -яке забруднення для себе та обладнання від усього, що може спричинити корозію.

Вони, як правило, використовуються як кінцеві ефектори або механізм затискання, для робототехнічних озброєнь або модулів передачі в обладнанні виготовлення вафель та обладнання, таких як Etcher або інструмент для відкладення, огляд або інструмент для чищення з точними слотами, канавками або вакуумними каналами, що фіксують фактичні вафлі, будь то 100 мм, 200 мм, або 300 мм, і передача вафель та переміщення. Кінцеві ефектори, як правило, обробляють швидкість передачі вафель на 25 см/секунду.

Параметри налаштування існують по лінії розроблених для конкретних інтерфейсів обладнання або розмірів вафель. Структурна жорсткість глинозему дозволяє проводити тонкі та легкі профілі, які мінімізують загальну масу системи керування та призводять до більш швидкого часу реагування. Деякі конфігурації також можуть додавати антистатичні або ізоляційні компоненти, щоб забезпечити додатковий захист чутливих електронних субстратів.

В цілому ефектор керамічного кінця глинозему забезпечує ефективне рішення, яке сприяє покращенню врожаю та зменшеному забрудненню, де експлуатаційна надійність є ключовими елементами для лінії обробки вафель. Завдяки своїй довговічній та фізичній продуктивності, ефективний та економічно ефективний ефектор керамічного кінця глинозему відрізняє себе як популярний вибір серед виробників напівпровідникового обладнання та FAB, які потребують суворих стандартів виробництва в ультра чилі середовища.