Глиноземний керамічний маніпулятор

Глиноземний керамічний маніпулятортакож називається глиноземною керамічною вилкою та кінцевим ефектором для обробки пластин. Він встановлений на роботі з пластинами та є еквівалентом руки робота. Він використовується для перенесення, транспортування та розміщення напівпровідникових пластин.Кремнієві пластининадзвичайно сприйнятливі до забруднення іншими частинками, тому їх зазвичай обробляють у вакуумі, щоб забезпечити чистоту. Керамічні маніпулятори з оксиду алюмінію використовують всмоктування негативного тиску для видалення пластин і транспортування напівпровідникових пластин за допомогою телескопічних, обертових і піднімальних рухів руки. Усередині глиноземного керамічного маніпулятора є отвори для повітря та вентиляційні канавки, які можуть утворювати вакуум під час нагнітання повітря, щоб напівпровідникові пластини можна було адсорбувати легким контактом без защемлення та пошкодження напівпровідникових пластин.

Загальновідомо, що чим чистіше склад оглиноземна керамікатим вище буде його міцність. Глиноземні керамічні маніпулятори Semicorex виготовлені з високочистої глиноземної кераміки. Це забезпечує виняткову механічну міцність і твердість. Їхня зносостійкість набагато перевищує стійкість сталі та хромованої сталі, що дозволяє їм зберігати точність поверхні протягом тривалого часу в середовищах із високим тертям, зменшуючи ризик подряпин на пластинах і роблячи їх ідеальними для високоточної обробки. Цей глиноземний керамічний маніпулятор має високий питомий опір. Його чудові електроізоляційні властивості можуть ефективно запобігати електростатичним перешкодам і зменшувати ризик адсорбції частинок, щоб підтримувати чисту поверхню пластини. Крім того, процес виробництва напівпровідників включає складні схеми та високу напругу всередині обладнання. Високоомний глиноземний керамічний маніпулятор ефективно блокує провідність струму, забезпечуючи електробезпеку під час роботи з напівпровідниковою пластиною. Завдяки високотемпературній стійкості та термічній стабільності глиноземної кераміки маніпулятор дуже мало деформується під час процесу термічної обробки напівпровідника, може точно позиціонувати пластини та уникнути відхилення точності, спричиненого термічною деформацією. Крім того, цей матеріал має чудову хімічну стабільність і високу стійкість до корозії кислотами, лугами, розплавленими металами тощо. Він нелегко реагує з іншими речовинами, вивільняючи забруднюючі частинки, і може ефективно захистити напівпровідникові частини від хімічного забруднення.