Глиноземний кінцевий ефектор

Вибір матеріалу для кінцевого ефектора з глинозему Semicorex обумовлений унікальною придатністю кераміки з оксиду алюмінію високої чистоти для суворих умов, які зустрічаються у виробництві напівпровідників: 

Виняткова чистота для контролю забруднення: Кінцевий ефектор з оксиду алюмінію, який містить високочисту кераміку з оксиду алюмінію як підкладку, характеризується надзвичайно низьким рівнем домішок, що гарантує відсутність забруднень, які можуть поставити під загрозу електричні властивості або продуктивність чутливих напівпровідникових пристроїв.

Стійкість до високих температур для універсальності процесу:Кінцевий ефектор з оксиду алюмінію демонструє чудову термічну стабільність, зберігаючи свою структурну цілісність і точність розмірів навіть при підвищених температурах, які зустрічаються в таких процесах, як термічне окислення, дифузія та хімічне осадження з парової фази.

Хімічна інертність для суворих середовищ:Внутрішня хімічна стійкість кінцевого ефектора з оксиду алюмінію робить його непроникним для широкого спектру кислот, лугів і розчинників, які зазвичай використовуються в обробці напівпровідників. Ця інертність запобігає корозії або деградації кінцевого ефектора, забезпечуючи його довгострокову роботу та мінімізуючи ризик забруднення частинками.

Надійні механічні властивості для подовженого терміну служби:Глиноземна кераміка відома своєю твердістю, зносостійкістю та здатністю витримувати повторні цикли обробки та очищення без погіршення якості. Така міцність забезпечує подовження терміну служби кінцевого ефектора з оксиду алюмінію, що зменшує витрати на заміну та час простою.

Точність, чистота та довговічність кінцевого ефектора з оксиду алюмінію зробили його важливим компонентом у низці критичних процесів виробництва напівпровідників:

Фотолітографія:Точне вирівнювання та розміщення пластин є першорядним у фотолітографії, де навіть незначні відхилення можуть призвести до помилок зміщення та поломки пристрою. Кінцевий ефектор із оксиду алюмінію забезпечує необхідну точність і стабільність для цього критичного етапу процесу.

Хіміко-механічна планаризація (CMP):Здатність протистояти хімічно агресивним суспензіям і механічним силам, пов’язаним з CMP, робить кінцевий ефектор з глинозему ідеальним для роботи з пластинами під час цього критичного процесу, який вирівнює поверхню пластини для подальшого шарування.

Перевірка пластин та метрологія:Не забруднює та не пошкоджує кінцевий ефектор з оксиду алюмінію, що робить його ідеальним для роботи з пластинами під час перевірки та метрологічних процесів, забезпечуючи точні вимірювання та мінімізуючи ризик появи дефектів.