Монтажні базові пластини з глиноземи

Базові пластини з кріпленням Alumine Semicorex-це керамічні вироби з високою чистотою, розроблені як міцні та стабільні основи для монтажних робіт у напівпровідникові обладнання для виготовлення. Ці таблички забезпечують критичну механічну підтримку та вирівнювання для операцій з обробки вафель, таких як літографія, травлення, осадження та огляд. Важливо точно узгодити твір з іншими компонентами системи, щоб забезпечити, щоб обробка вафельних виробів може відбуватися з необхідною вірністю. Пластини виготовляються за допомогою методів переробки, характерних для кераміки для досягнення необхідної плоскості, високотемпературної міцності та довгострокової надійності для задоволення суворих вимог сучасного напівпровідникового виготовлення як у процесі, так і в чистому середовищі.

Основні пластини з кріпленням Alumine Semicorex виготовлені з високої чистотиглиноземМаючи рівень чистоти ≧ 99,5% (типовий). Алюміній з високою чистотою має хороші механічні та теплові властивості, а також твердість. Аумінмін з високою чистотою має чудові притаманні електричні ізоляційні властивості, які також дозволяють використовувати ці таблички у вакуумі та додатках з високою напругою, де електричні перешкоди можуть бути проблемою. Алюміній буде стійкий до теплового циклу, що дозволяє пластинам підтримувати кращу розмірну точність, ніж більшість матеріалів, і є корисним для підтримки вирівнювання або структурної стабільності через зниження теплового розширення. Цей фактор важливий для забезпечення повторюваності Чак та неявних допусків процесу, при цьому працює над розширеними циклами виробництва.

У напівпровідникових системах обробки кріплення базової пластини - це не просто пристрій для механічного кріплення. Це середовище теплового контакту між Чак та рештою обладнання і має вирішальне значення для теплового розсіювання, структурної цілісності та вібраційної ізоляції. Дії обробки, такі як (але не обмежуючись ними) ССЗ, ПВД або іонна імплантація, де високі температури та вакуумні тиски є звичайною справою, вимагають кріпильної основи, щоб бути термічно стійкою, хімічно інертною та стійкою, механічно звуковою та стійкою до теплового шоку. Хімічна інертність є життєво важливою, оскільки кріплення повинно бути сумісним з реактивними газами, а також очищенням хімікатів, що продовжують термін корисного використання гори та запобігаючи забрудненню.

Кожна базова пластина з алюмінією, виготовлена Semicorex, обробляється до толерантності, яку вимагають напівпровідникові виробники виробників та інтегратори обладнання. Пластини обробляються до щільних допусків для товщини, зміни висоти та плоскості, щоб забезпечити максимальну стабільність та повторюваність. Ці кріпильні таблички можуть бути виготовлені з кріпильних отворів, слотів або протидії специфікаціям клієнтів для кращого розміщення робочих крон, механічних етапів чи іншого обладнання. Кераміка глинозему обробляється за допомогою сучасних методів спікання та точності шліфування для оптимізації рівномірної мікроструктури та якості поверхні для забезпечення послідовного теплового контакту та вирівнювання для використання з часом.

Базові пластини з кріпленням Alumine Semicorex використовуються в різних застосуванні, включаючи обробники вафель, системи роботизованих передач, вакуумні збори Чак та стадії метрології. Ця надійність та довговічність у різних вимогливих процесах процесів робить їх продуктом вибору з виробниками інструментів, які шукають надійних, довготривалих, низьких компонентів кераміки. Наша інженерна група співпрацює з клієнтами, щоб забезпечити унікальні рішення, визначені для кожної таблички для максимальної ефективності виробництва у напівпровіднику.

Основні пластини з кріплення глинозему - це більше, ніж просто механічна підтримка; Це ключовий компонент точної інженерії в напівпровідниковій галузі. Завдяки чудовій механічній стабільності, чистоті та конфігурації вони забезпечують точне вирівнювання, тривалий термін експлуатації та надійну роботу в широкому діапазоні інструментів процесу. Для високоефективних базових планшетів, відповідаючи високим очікуванням сьогоднішніх виробників напівпровідників, Trust Semicorex.