Рука робота з глиноземи

Robot Arm Semicorex Alumina-це високоефективна керамічна частина, призначена для обробки вафель та перенесення завдань у виробництві напівпровідників. Ця робототехнічна рука, виготовлена з кераміки з високою чистотою глинозему (Al₂o₃), пропонує гнучкість, точність, надійність та довговічність у чистій кімнаті.

Що виділяється на користь руки робота з глинозему - це властивостіКераміка глиноземумеханічна міцність і твердість. Якглиноземзроблений більш чистим, глинозем підтримує кращу структурну цілісність і робить його більш стійким до механічного зносу та деформації. Як матеріал, глинозем є чудовим вибором для робототехнічних деталей, які використовуються в делікатних та повторюваних завдань обробки вафель, тобто коли руку-робот потрібно виконувати ту саму функцію та встановити контакт з вафлями, що незначне спотворення, що застосовується до вафлі рукою роботів, може коштувати втрати врожаю. Висока твердість, тобто жорсткі поверхні, може допомогти при абразивному опорі та функціональному житті, тобто продовженням життя та тривалості обслуговування/ заміни на робототехнічному компоненті.

Поза межами його механічної міцності рука робота з глинозему також є чудовим електричним ізолятором. Опір становить до 10⁵ ω · см, а міцність ізоляції - до 15 кВ/мм при кімнатній температурі, що забезпечує набагато безпечніше середовище для роботи, особливо коли втручання електричних сигналів повинні бути зменшені в обробному обладнанні. Це стає важливим при захисті чутливих напівпровідникових компонентів, що переносять між процесами з мінімальним ризиком пошкодження електростатичного розряду (ESD).

Кераміка глинозему відмінно підтримує стабільність через дуже високі температури. Температура плавлення становить приблизно 2050 ° C і витримає високі температури при напівпровідниковій термічній обробці без викривлення або розміру. Висока теплостійкість дозволяє використовувати руку в таких процесах, як швидке теплове відпал (RTA) або хімічне осадження пари (ССЗ), де точне вирівнювання та термічна стійкість є критичними.

Однією з інших значущих переваг руки робота глинозему є його інертність. Його поверхня інертна для більшості очисних засобів та переробних газів, що використовуються при виробництві напівпровідників. Тому він залишатиметься без забруднення і не сприятиме забрудненню поверхневих вафель. Ця хімічна інертність є ключовою для досягнення умов у умовах очищення та забезпечення послідовної продуктивності пристрою.

Кераміка глиноземутакож є доступним варіантом для напівпровідникових інструментів. Він легко доступний у вигляді сировини, а процеси обробки кераміки глинозему добре зрозумілі та легко масштабуються. Це дозволяє відтворювати та послідовні допуски для високоякісних деталей виробляти за конкурентною ціною. Поєднання продуктивності та доступності робить руку роботів глинозему ідеальним для OEM та напівпровідникових FAB, де вам потрібні надійні компоненти автоматизації, які не порушують банк.

Підводячи підсумок, рука робота з глиноземи забезпечує високу механічну продуктивність, високу діелектричну продуктивність, високу термічну стійкість, високу хімічну продуктивність, все з перевіреною виготовленням за економічною ціною. У сукупності ці характеристики продуктивності роблять його надійним та ефективним для точних застосувань для обробки вафель у виробництві напівпровідників, що сприяє покращенню врожаю, потенційно знижуючи ризик забруднення та підвищення загальної ефективності обладнання.