Глиноземні патрони з кільцевими канавками

Глиноземний патрон Semicorex з кільцевими канавками має структуру поверхні, що складається з кількох концентричних кільцевих канавок. При з’єднанні з вакуумним насосом ці канавки утворюють кільцеподібні зони негативного тиску для стабільного утримання тонких пластин і заготовок із точним позиціонуванням. Глиноземні патрони Semicorex із кільцевими канавками добре функціонують у робочих умовах, що вимагають суворого керування площинністю та рівномірно розподіленої адсорбційної сили, які широко застосовуються в утримуванні пластин, експозиційному позиціонуванні, плазмовому травленні, а також у процесах перевірки та перенесення пластин.

Переваги глиноземних патронів Semicorex з кільцевими канавками

1. Виняткова стійкість до високих температур

Глиноземна кераміка, виготовлена ​​шляхом ущільнювального спікання, демонструє чудові теплові характеристики. Завдяки цій властивості матеріалу глиноземні патрони Semicorex із кільцевими канавками стабільно працюють у робочому середовищі з екстремально високою температурою без структурної деформації та погіршення продуктивності при тривалому використанні.

2. Рівномірна сила адсорбції

Напівкорекс кільцеподібно-жолобчастийглиноземні патронимають на своїй адсорбційній поверхні численні кільцеві борозенки, в яких утворюються стабільні кільцеподібні вакуумні зони. Ця конфігурація забезпечує постійну адсорбційну силу в основних контактних зонах пластин, що, таким чином, значно знижує часткову деформацію та викривлення пластин.

3. Чудова структурна стабільність і висока точність позиціонування

Маючи чудову жорсткість матеріалу та структурну стабільність, глиноземні патрони Semicorex із кільцевими канавками здатні підтримувати чудову площинність і постійну точність позиціонування під час багаторазових операцій вакуумного затискання протягом тривалого часу.

4. Сильна стійкість до хімічної корозії

ЧерезглиноземЗавдяки надійній хімічній стабільності глиноземні патрони Semicorex із кільцевими канавками відрізняються винятковою стійкістю до більшості кислотних і лужних речовин, а також різноманітних корозійних технологічних газів і добре адаптовані до складних корозійних умов експлуатації.

5. Відмінна чистота

Завдяки суворому контролю чистоти матеріалу та обробці ущільнення, глиноземні патрони Semicorex із кільцевими канавками рідко виділяють частки або домішки під час експлуатації, що повністю відповідає суворим стандартам низького рівня забруднення в напівпровідникових чистих приміщеннях.

Чому варто вибрати Semicorex?

Як провідна компанія Китаю, Semicorex підтримує інтегровані виробничі лінії та досвідчену технічну команду. Ми можемо запропонувати нашим клієнтам спеціалізовану технічну підтримку та оптимізовані технологічні рішення, а також надати їм нестандартне виготовлення наших глиноземних патронів із кільцевими канавками щодо чистоти матеріалу, форми патронів, розмірів, площинності, допусків та інших вимог.